Diamond-Like Carbon Film Deposition Using DC Ion Source with Cold Hollow Cathode
المؤلفون المشاركون
Shevchenko, E. F.
Tarala, V. A.
Shevchenko, M. Yu.
Titarenko, A. A.
المصدر
Advances in Materials Science and Engineering
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-01-23
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
الملخص EN
Carbon diamond-like thin films on a silicon substrate were deposited by direct reactive ion beam method with an ion source based on Penning direct-current discharge system with cold hollow cathode.
Deposition was performed under various conditions.
The pressure (12–200 mPa) and the plasma-forming gas composition consisting of different organic compounds and hydrogen (C3H8, CH4, Si(CH3)2Cl2, H2), the voltage of accelerating gap in the range 0.5–5 kV, and the substrate temperature in the range 20–850°C were varied.
Synthesized films were researched using nanoindentation, Raman, and FTIR spectroscopy methods.
Analysis of the experimental results was made in accordance with a developed model describing processes of growth of the amorphous and crystalline carbon materials.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Shevchenko, E. F.& Tarala, V. A.& Shevchenko, M. Yu.& Titarenko, A. A.. 2014. Diamond-Like Carbon Film Deposition Using DC Ion Source with Cold Hollow Cathode. Advances in Materials Science and Engineering،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1015931
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Shevchenko, E. F.…[et al.]. Diamond-Like Carbon Film Deposition Using DC Ion Source with Cold Hollow Cathode. Advances in Materials Science and Engineering No. 2014 (2014), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1015931
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Shevchenko, E. F.& Tarala, V. A.& Shevchenko, M. Yu.& Titarenko, A. A.. Diamond-Like Carbon Film Deposition Using DC Ion Source with Cold Hollow Cathode. Advances in Materials Science and Engineering. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1015931
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1015931
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر