Topographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures
المؤلفون المشاركون
Alarcón, L. Salazar
Martínez, E. D.
Rodríguez, L. M.
Pastoriza, H.
المصدر
Advances in Materials Science and Engineering
العدد
المجلد 2016، العدد 2016 (31 ديسمبر/كانون الأول 2016)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2016-05-22
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
الملخص EN
During SU-8 standard photolithography process, a patterned topography is formed with a characteristic height profile produced by the different shrinkage of the UV exposed and masked regions.
We study the change of wettability, film solubility, and topographic modifications on SU-8 films of different thicknesses and show its relevance in the formation of spinning-flow arrays on top layers made from positive photoresists.
Also, considerable contrast in film solubility and surface energy as observed from contact angle measurements is produced.
Interface diffusion of the photoresists was also observed and followed by Rutherford Back Scattering.
We discuss the derivations of the mentioned effects concerning the limitations to multilayered microfabrication processes and possibilities to take advantage of the surface profiles obtained.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Alarcón, L. Salazar& Martínez, E. D.& Rodríguez, L. M.& Pastoriza, H.. 2016. Topographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures. Advances in Materials Science and Engineering،Vol. 2016, no. 2016, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1096197
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Alarcón, L. Salazar…[et al.]. Topographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures. Advances in Materials Science and Engineering No. 2016 (2016), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1096197
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Alarcón, L. Salazar& Martínez, E. D.& Rodríguez, L. M.& Pastoriza, H.. Topographical and Physicochemical Contrast in Photopatterned SU-8 Films for Microfabrication of Multilayer Structures. Advances in Materials Science and Engineering. 2016. Vol. 2016, no. 2016, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1096197
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1096197
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر