تحسين خصائص الاتصال كادميوم-سيليكون باستخدام تقنية الاجتثاث المعزز بالبلازما

الملخص AR

في هذا البحث، استخدمت تقنية الاجتثاث المعزز بالبلازما لتصنيع اتصال ما بين الكادميوم و السليكيون و مقارنة النتائج المستحصلة مع نفس الاتصال المصنع باستخدام تقنية التبخير الحراري في الفراغ.

أظهرت النتائج أن اتصال كادميوم-سيليكون يكون ذا خصائص اومية مع اختلاف طبيعة التوصيل الكهربائي للقاعدة السيليكونية فيما يكون الاتصال المصنع باستخدام التقنية الثانية ممانعا (شوتكي).

بلغت قيمة المقاومة النوعية للاتصال حوالي (Ώ.

7.3 cm2) و (Ώ.

6.9 cm2) لكلا حالتي السيليكون المانح و القابل، على التوالي.

تعد تقنية الاجتثاث المعزز بالبلازما إحدى تقنيات صناعة الاتصالات الأومية و النبائط الإلكترونية ذات الأبعاد الكبيرة و التي تستخدم في منظومات الطاقة الشمسية و العارضات المسطحة كبيرة الحجم.