تصنيع و دراسة تأثير التشعيع بالليزر على خصائص كشف سليكوني ثنائي وصلة

مقدم أطروحة جامعية

الوندي، شيماء محمود عبد الباقي

الجامعة

الجامعة التكنولوجية

الكلية

-

القسم الأكاديمي

قسم العلوم التطبيقية

دولة الجامعة

العراق

الدرجة العلمية

ماجستير

تاريخ الدرجة العلمية

2008

الملخص العربي

في هذا البحث تم إشابة شريحة السليكون من النوع القابل (P-type) باتجاهية (100) ذات مقاومية سطحية (35.6 Ώ / □) باستخدام ذرات الفسفور بواسطة االنتشار الحراري لتحويل الطبقة السطحية للشريحة إلى طبقة مانحة (n-type) بمقاومة سطحية ( 44.2 Ώ / □).

لتحسين خصائص ثنائي الوصلة المصنع تم استخدام ليزر (Nd : YAG) النبضي الذي يعمل بتقنية النبضة العملاقة و بأمد نبضة (35 ns) للحصول على الفعالية الكهربائية المناسبة للشوائب باستخدام عدد من النبضات في الموقع نفسة و بكثافة طاقة ثابتة (0.53 J / cm2)، و بدراسة مقدار التحسن الذي طرأ على خصائص الكواشف المصنعة فقد وجد أن أفضل الخصائص للتلدين باستخدام الليزر توزعت ما بين (5 و 4) نبضات.

من خلال قياس المقاومة الكهربائي في ظروف مختلفة وجد أن أقل قيمة للمقاومة الكهربائية السطحية عند أربع نبضات لليزر.

فقد تناقصت المقاومة الكهربائية بنسبة (3.2 %) عما هي عليه قبل عملية التلدين بالليزر.

و من خلال نتائج قياسات (تيار-جهد) في حالة الظلام أظهرت هذه الكواشف صفة التقويم و السلوك الأسي لتيار الانحياز الأمامي، و من خلال حساب معامل المثالية قبل التشجيع و بعده كانت أقل قيمة له (1).

و تبين من نتائج قياسات (سعة-جهد) للعينات المصنعة بأن الوصلة من النوع المتدرج، و من خلال حساب جهد البناء الداخلي استدل على تحسن خصائص الوصلة و امتلاك الكاشف منطقة نضوب عريضة نوعا ما، و تم الوصول إلى أقل سعة عند عمليات التلدين إذ بلغت (4.168 nf) و بدون تسليط مجال كهربائي خارجي.

تبين من خلال قياس عمق الشوائب بأنها من النوع الضحل (Shallow junction) حيث بلغ مقدار العمق (0.437 um)، و من خلال كل من هذا القياس و قياس المقاومة السطحية ثمن إيجاد تركيز الشوائب (3,48 x 1019 cm -3).

و هذا يعني بأن عمليات اتحاد أو جبر (Auger recombination) هي المتغلبة التي أكدها مقدار فترة حياة الحاملات القصير لجميع الكواشف.

أما نتائج قياس (تيار-جهد) في حالة الغضاءة فقد تبين أن التيار لضوئي بزيادة جهد الانحياز و كذلك مع زيادة كثافة القدرة الضوئية الساقطة.

كما أعطى قياس تيار دائرة القصر(Short Circuit) علاقة لا خطية مع كثافة القدرة الضوئية للكاشف المصنع و تم الحصول على الخصائص الخطية بعد عملية التلدين باليزر تحت ظروف مختلفة.

التخصصات الرئيسية

الفيزياء

الموضوعات

• الخواص الكهربائية
• السيليكون

• APA
• MLA
• AMA

لغة النص

العربية

نوع البيانات

رسائل جامعية

رقم السجل

BIM-305748