دراسة الخصائص الفيزيائية لأغشية أوكسيد الخارصين المطعمة بالأنتيمون و المحضرة بطريقة الترسيب البخاري الكيميائي

الملخص AR

تم تحضير أغشية رقيقة من الأكاسيد الموصلة الشفافة ZnO الذاتية والمطعمة بالأنتيمون بنسب تطعيم (10%- 1%) باستخدام تقنية الترسيب البخاري الكيميائي عند الضغط الجوي ((APCVD و في درجات حرارية مختلفة للأرضيات 400 Cº, 425Cº, 450Cº, 475Cº, 500Cº)) و اعتمد انجاز الدراسة في مراحلها البحثية على حيود الأشعة السينية XRD، ومجهر القوة الذرية AFM، الامتصاصية البصرية والنفاذية لطيف الأشعة فوق البنفسجية و الضوء المرئي، التوصيلية الكهربائية و تأثير هول.

و من خلال قياسات الأشعة السينية تبين أن الأغشية المحضرة تمتلك تركيبا متعدد البلورات و كانت من النوع السداسي ((Hexagonal Wurtzite Type و كانت ذات اتجاه نمو مفضل (002)، (100) فضلا عن ظهور الذروات التي تمثل بعض أطوار أكاسيد الانتيمون، و بينت قياسات AFM أن الأغشية المحضرة تمتلك معدل خشونة (nm 19.4) و قيمة مربع الجذر التربيعي.

أما القياسات البصرية فكانت النفاذية (T) تزداد بزيادة التطعيم و تقل بزيادة درجة حرارة الأرضيات و تتراوح بين (70-90 %) و كانت فجوة الطاقة البصرية لأغشية ZnO : Sb مقاربة لفجوة الطاقة ل ZnO الذاتية.

و بلغت أفضل توصيلية في أغشية ZnO ثم بنسبة تطعيم (10 %) في درجة حرارة (º C 400 ) و من خلال قياسات هول وجدنا أن قيم المقاومية الكهربائية كانت بحدود Ω.cm) 1.8) و التحركية تراوحت بين (cm2 / V.sec (146-4749)) و تركيز الحاملات (10 15cm-3).

و أن أغشية ZnO غير المطعمة و المطعمة بالأنتيمون هي من نوع (n).