استخدام تقنية الإظهار الكيميائي في تحديد اتجاهية المستويات البلورية لشرائح السليكون

الملخص AR

تلعب الاتجاهية البلورية لأشباه الموصلات دورا كبيرا في التأثير على خصائص النبطية المصنعة كالخلية الشمسية و الكاشف الضوئي و نحوهما .في هذا البحث تم استخدام تقنية الإظهار الكيميائي و الفحوصات المجهرية لتحديد التوجيه البلوري لشرائح السليكون الأحادية، حيث أدت عمليات التنعيم و الصقل و محاليل الإظهار المفضلة إلى أظهار ندب الانخلاعات على شكل هيئات هندسية مميزة تشير إلى المستويات البلورية لشرائح السليكون.

بينت الفحوصات المجهرية الاختلاف في هيئات ندب الانخلاعات للمستوى (111) في شرائح السليكون بتأثير اختلاف المحاليل الكيميائية، حيث ظهرت ندب الانخلاعات بأشكال هندسية مثلثية مسطحة عند استخدام محلول KOH بينما أدى محلول CP-4 إلى إظهار تلك الندب بهيئات مثلثية هرمية يشير الرأس إلى الاتجاهية [111].

استخدم خلال هذا البحث محلول أوكسيد الكروم الحامضي في إظهار ندب الانخلاعات للمستويات (100) لشرائح السليكون حيث كانت على هيئة مربعات حادة الحافات مسطحة تشير إلى تلك المستويات و حسب توزيع معامل ملر في النظام المكعب لشرائح السليكون.