تحضير أفلام رقيقة من Y2O3 مرسبة على ركائز من السيلكون و توصيفها
العناوين الأخرى
Preparation and characterization of Y2O3 thin films deposited on silicon substrates
المؤلف
المصدر
مجلة جامعة دمشق للعلوم الأساسية
العدد
المجلد 30، العدد 1 (30 يونيو/حزيران 2014)، ص ص. 79-100، 22ص.
الناشر
تاريخ النشر
2014-06-30
دولة النشر
سوريا
عدد الصفحات
22
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Y2O3 thin films were prepared by electron-beam evaporation at room temperature on both p-type Si(331) and n-type Si(111) silicon (Si) substrates at a pressure of~10-6 mbar vacuum.
The crystal structure has been studied by X-ray diffraction (XRD).
All deposited thin films on p-type Si(331) substrates are started to crystallize at room temperature with energy gap of around (5.4)eV.
When these films are annealed at various temperatures 500-900 ºC, an improvement in the crystallization process is observed.
On increasing the annealing temperature the energy gap is shifted towards lower energy to reach (5)eV at 900ºC.
This can be habited to an increase of defects in the structure of Y2O3 films.
In comparisons, the deposited thin films on n-type Si(111) substrates start crystallization at room temperature with the energy gap of around (5)eV.
When these films are annealed at various temperatures 600-900 ºC, an improvement in the crystallization process is observed.
The energy gap is shifted towards higher energy to reach around (5.4)eV at 900ºC, which is may be due to the reduction of defects in the structure of Y2O3 films.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
حيدر محمد ملحم. 2014. تحضير أفلام رقيقة من Y2O3 مرسبة على ركائز من السيلكون و توصيفها. مجلة جامعة دمشق للعلوم الأساسية،مج. 30، ع. 1، ص ص. 79-100.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-740625
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
حيدر محمد ملحم. تحضير أفلام رقيقة من Y2O3 مرسبة على ركائز من السيلكون و توصيفها. مجلة جامعة دمشق للعلوم الأساسية مج. 30، ع. 1 (2014)، ص ص. 79-100.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-740625
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
حيدر محمد ملحم. تحضير أفلام رقيقة من Y2O3 مرسبة على ركائز من السيلكون و توصيفها. مجلة جامعة دمشق للعلوم الأساسية. 2014. مج. 30، ع. 1، ص ص. 79-100.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-740625
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
العربية
الملاحظات
يتضمن مراجع ببليوجرافية : ص. 99-100
رقم السجل
BIM-740625
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر