![](/images/graphics-bg.png)
تأثير الأكسدة الحرارية على الخصائص البنيوية والضوئية لأغشية رقيقة من الألمنيوم مُحضَّرة بطريقة الترذيذ الماغنتروني
Other Title(s)
Effect of thermal oxidation on the structural and optical properties of aluminum thin films prepared by magnetron sputtering method
Joint Authors
Source
مجلة جامعة دمشق للعلوم الأساسية
Issue
Vol. 38, Issue 4 (31 Dec. 2022), pp.1-24, 24 p.
Publisher
Publication Date
2022-12-31
Country of Publication
Syria
No. of Pages
24
Main Subjects
Abstract AR
جرى في هذا البحث تحضير أغشية رقيقة من الألمنيوم بطريقة الترذيذ الماغنتروني بالتيار المستمر (DC-Magnetron Sputtering) من هدف مصنوع من الألمنيوم بنقاوة (99.99%) متبوعة بأكسدة حرارية في الهواء عند درجات حرارة مختلفة.
وتم بعد ذلك توصيف العينات المحضرة, ودراسة تأثير درجة حرارة الأكسدة على خصائصها الضوئية والبنيوية.
حيث لوحظ تناقص معدل عملية الأكسدة في العينة المحضرة عند درجة الحرارة 500°C وذلك بالمقارنة مع درجات الحرارة الأقل انخفاضا.
أما في حالة درجات الحرارة المنخفضة فقد لوحظ ازدياد معدل عملية الأكسدة مع ازدياد درجة الحرارة وكانت ثخانات طبقة الأكسيد المتشكلة غير منتظمة.
كما بينت هذه الدراسة, الحصول على بنى رباعية وثمانية السطوح من أكسيد الألمنيوم وتشكل هدروكسيد الألمنيوم.
بالإضافة لما سبق، فقد لوحظ تناقص خشونة السطح مع ارتفاع درجة الحرارة حيث تناقصت بحوالي 84% عند الأكسدة لدرجة حرارة 500° C.
وتضمنت الدراسة أيضا تقصي تأثير الخصائص البنيوية والطبوغرافية المدروسة على طيف الانعكاسية للأغشية المحضرة.
Abstract EN
In this paper, thin films of aluminum were prepared by DC-magnetron sputtering from an aluminum target of purity (99.99) followed by thermal oxidation in air at different temperatures.
After that, the prepared samples were characterized and the effect of oxidation temperature on the optical and structural properties of the prepared films was studied.
It was observed that the growth of the oxide film decreased in the treated sample at 500°C compared to the lower temperatures.
In the case of low temperatures, it was observed that the oxide film nucleation rate increased with the increase in temperature, and the thicknesses were irregular.
The study also showed obtaining tetrahedral and octahedral structures from aluminum oxide and forming aluminum hydroxide.
In addition to the above, the surface roughness decreased with increasing temperature, where it decreased by about 84% upon oxidation to a temperature of 500°C.
The study also included investigating the effect of the studied structural and topographical properties on the reflectivity spectrum of the prepared films.
American Psychological Association (APA)
كمال كايد والبرني، لبنى. 2022. تأثير الأكسدة الحرارية على الخصائص البنيوية والضوئية لأغشية رقيقة من الألمنيوم مُحضَّرة بطريقة الترذيذ الماغنتروني. مجلة جامعة دمشق للعلوم الأساسية،مج. 38، ع. 4، ص ص. 1-24.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1510231
Modern Language Association (MLA)
كمال كايد والبرني، لبنى. تأثير الأكسدة الحرارية على الخصائص البنيوية والضوئية لأغشية رقيقة من الألمنيوم مُحضَّرة بطريقة الترذيذ الماغنتروني. مجلة جامعة دمشق للعلوم الأساسية مج. 38، ع. 4 (2022)، ص ص. 1-24.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1510231
American Medical Association (AMA)
كمال كايد والبرني، لبنى. تأثير الأكسدة الحرارية على الخصائص البنيوية والضوئية لأغشية رقيقة من الألمنيوم مُحضَّرة بطريقة الترذيذ الماغنتروني. مجلة جامعة دمشق للعلوم الأساسية. 2022. مج. 38، ع. 4، ص ص. 1-24.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1510231
Data Type
Journal Articles
Language
Arabic
Notes
يتضمن مراجع ببليوجرافية : ص. 21-24
Record ID
BIM-1510231