تصنيع المفرق الهجيني نوع(M) باستخدام ليزر النيديميوم- باك النبضي
Dissertant
University
University of Technology
Faculty
-
Department
Applied Sciences Department
University Country
Iraq
Degree
Master
Degree Date
1999
Arabic Abstract
تم تجريبيا و لأول مرة دراسة إمكانية تصنيع مفرق هجين متماثل نوع pGe-pSi باستخدام ليزر النيدميوم–ياك النبضي و بظروف تصنيعية مختلفة، إذ تم التركيز على تأثير المعلمات الحرجة مثل كثافة طاقة الليزر، سمك الجرمانيوم، أمد النبضة، عدد النبضات، تسخين القاعدة، و التلدين بنوعيه الحراري التقليدي و الأيزوثرمي السريع على الخصائص الكهربائية و التركيبية و هيئة توزيع الشوائب للمفرق الهجين.
في بحثنا هذا تم اعتماد عدة طرائق تشخيص، استخدم المجهر البصري العاكس و المجهر الالكتروني الماسح لدراسة طبوغرافية المناطق المشعة و لظروف مختلفة.
أظهرت النتائج أن السطح المشع بكثافة طاقة قليلة نسبيا (27.5 J / cm2 لأمد نبضة 300 µs و سمك جرمانيوم 500a مثلا) يبدي شقوقا خطية تتقاطع مع بعضها مكونة زوايا بقيم ثابتة (120°, 60°) (على هيئة مثلثات)، أما عند التشعيع بكثافات طاقة عالية تحدث عيوب تركيبية مثل النتوءات و التموجات و مناطق التبخر.
إن كثافة طاقة عتبة الانصهار تعتمد على ظروف السطح المشع، إذ أوضحت النتائج أن لزيادة سمك طبقة الجرمانيوم و درجة حرارة القاعدة و زمن نبضة الليزر دورا كبيرا في زيادة أو نقصان مقدارها.
أعطت نتائج حيود الأشعة السينية للمناطق المشععة تفصيلا دقيقا للأطوار البلورية المتكونة جراء التشعيع و التي اختلفت باختلاف ظروف التشعيع و المعاملات الحرارية، إذ تم تشخيص العيوب البلورية و الانخلاعات من خلال حساب مقدار ثابت الشبيكة للأطوار المتكونة في السبيكة و العرض في منتصف الارتفاع لقمة الحيود (FWHM)، و من جانب آخر و للوصول إلى الظروف المثلى للتشعيع تم اللجوء إلى حساب مقدار.
و قد أوضحت النتائج بأن المستوى البلوري (311) للتركيب SIGE مثلا و المشعع بكثافات طاقة (20.32 J / cm2 و 26.33 J / cm2) لامدي النبضة 300 µS و 10MS على التوالي عند درجة حرارة الغرفة يحدث فيه استرخاء تام (a =0.000).
للتعرف على شكل و هيئة توزيع الجرمانيوم ضمن شبيكة تم استخدام تقنية EDX، و قد بينت النتائج بأن محتوى الجرمانيوم يكون في قيمته القصوى عند سطح السليكون و بعد ذلك يبدأ بالتناقص كلم اتجهنا نحو العمق و يخضع لتوزيع أسي.
و أن محتوى الجرمانيوم يعتمد بشكل رئيس على ظروف التشعيع و نوع المعاملة.
Main Subjects
Topics
American Psychological Association (APA)
جرجيس، رائد نجيب رزوقي. (1999). تصنيع المفرق الهجيني نوع(M) باستخدام ليزر النيديميوم- باك النبضي. (أطروحة ماجستير). الجامعة التكنولوجية, العراق
https://search.emarefa.net/detail/BIM-306603
Modern Language Association (MLA)
جرجيس، رائد نجيب رزوقي. تصنيع المفرق الهجيني نوع(M) باستخدام ليزر النيديميوم- باك النبضي. (أطروحة ماجستير). الجامعة التكنولوجية. (1999).
https://search.emarefa.net/detail/BIM-306603
American Medical Association (AMA)
جرجيس، رائد نجيب رزوقي. (1999). تصنيع المفرق الهجيني نوع(M) باستخدام ليزر النيديميوم- باك النبضي. (أطروحة ماجستير). الجامعة التكنولوجية, العراق
https://search.emarefa.net/detail/BIM-306603
Language
Arabic
Data Type
Arab Theses
Record ID
BIM-306603
