دراسة الخصائص الفيزيائية لأغشية أوكسيد الخارصين المطعمة بالأنتيمون و المحضرة بطريقة الترسيب البخاري الكيميائي
Other Title(s)
Study the physical properties antimony doped zinc oxide thin films prepared by chemical vapor deposition
Joint Authors
ميخائيل عيسى منصور
صالح، باسل هاشم ناصر
Source
Issue
Vol. 23, Issue 3 (30 Sep. 2012), pp.163-179, 17 p.
Publisher
University of Mosul College of Science
Publication Date
2012-09-30
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
17
Main Subjects
Topics
Abstract AR
تم تحضير أغشية رقيقة من الأكاسيد الموصلة الشفافة ZnO الذاتية والمطعمة بالأنتيمون بنسب تطعيم (10%- 1%) باستخدام تقنية الترسيب البخاري الكيميائي عند الضغط الجوي ((APCVD و في درجات حرارية مختلفة للأرضيات 400 Cº, 425Cº, 450Cº, 475Cº, 500Cº)) و اعتمد انجاز الدراسة في مراحلها البحثية على حيود الأشعة السينية XRD، ومجهر القوة الذرية AFM، الامتصاصية البصرية والنفاذية لطيف الأشعة فوق البنفسجية و الضوء المرئي، التوصيلية الكهربائية و تأثير هول.
و من خلال قياسات الأشعة السينية تبين أن الأغشية المحضرة تمتلك تركيبا متعدد البلورات و كانت من النوع السداسي ((Hexagonal Wurtzite Type و كانت ذات اتجاه نمو مفضل (002)، (100) فضلا عن ظهور الذروات التي تمثل بعض أطوار أكاسيد الانتيمون، و بينت قياسات AFM أن الأغشية المحضرة تمتلك معدل خشونة (nm 19.4) و قيمة مربع الجذر التربيعي.
أما القياسات البصرية فكانت النفاذية (T) تزداد بزيادة التطعيم و تقل بزيادة درجة حرارة الأرضيات و تتراوح بين (70-90 %) و كانت فجوة الطاقة البصرية لأغشية ZnO : Sb مقاربة لفجوة الطاقة ل ZnO الذاتية.
و بلغت أفضل توصيلية في أغشية ZnO ثم بنسبة تطعيم (10 %) في درجة حرارة (º C 400 ) و من خلال قياسات هول وجدنا أن قيم المقاومية الكهربائية كانت بحدود Ω.cm) 1.8) و التحركية تراوحت بين (cm2 / V.sec (146-4749)) و تركيز الحاملات (10 15cm-3).
و أن أغشية ZnO غير المطعمة و المطعمة بالأنتيمون هي من نوع (n).
Abstract EN
Undoped ZnO and Sb-doped ZnO (0.3-10 at.
%) thin films have been prepared by APCVD technique on the glass substrate at (400Cº, 425Cº, 450Cº, 475Cº, 500Cº).
The structural, optical and electrical properties of these thin films were studied.
The results of the structural tests showed that these Films of ZnO:Sb were successfully prepared by (APCVD) X-ray measurement revealed that thin film structure was Polycrystalline of Hexagonal Wurtzite type with preferential orientation along the (002), (100) direction, in addition peaks for some phases for Antimony oxides were appeared.
AFM measurement revealed that thin film have Roughness Average (19.4 nm) & RMS (24.3 nm).
The optical measurement Transmission (T') were increase with as the doping percentage increased and decrease with increased substrate temperature, were found (79-90%), the band gap energies of the ZnO:Sb thin film are nearly the same as the pure ZnO.
the best Electrical conductivity is appear with ZnO thin and (10% Sb) concentration at substrate temperatures (400Cº).
The Hall measurement revealed that Resistivity were (1.8 Ω.cm), mobility ((146-4749) cm2/V.sec) and carrier concentration (1015 cm-3).
The doped and undoped ZnO films exhibited n-type conductivity.
American Psychological Association (APA)
صالح، باسل هاشم ناصر وميخائيل عيسى منصور. 2012. دراسة الخصائص الفيزيائية لأغشية أوكسيد الخارصين المطعمة بالأنتيمون و المحضرة بطريقة الترسيب البخاري الكيميائي. مجلة علوم الرافدين،مج. 23، ع. 3، ص ص. 163-179.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-313273
Modern Language Association (MLA)
صالح، باسل هاشم ناصر وميخائيل عيسى منصور. دراسة الخصائص الفيزيائية لأغشية أوكسيد الخارصين المطعمة بالأنتيمون و المحضرة بطريقة الترسيب البخاري الكيميائي. مجلة علوم الرافدين مج. 23، ع. 3 (أيلول 2012)، ص ص. 163-179.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-313273
American Medical Association (AMA)
صالح، باسل هاشم ناصر وميخائيل عيسى منصور. دراسة الخصائص الفيزيائية لأغشية أوكسيد الخارصين المطعمة بالأنتيمون و المحضرة بطريقة الترسيب البخاري الكيميائي. مجلة علوم الرافدين. 2012. مج. 23، ع. 3، ص ص. 163-179.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-313273
Data Type
Journal Articles
Language
Arabic
Notes
يتضمن مراجع ببليوجرافية : ص. 178-179
Record ID
BIM-313273
