الخواص الضوئية لأغشية الكربون الشبيهة بالماس باستخدام مطيافية القطع الناقص
Other Title(s)
Spectroscopic ellipsometry of optical properties of diamond-like carbon thin films
Dissertant
Thesis advisor
العمري، أحمد علي حسين
العطار، حميد عبد الواحد
Comitee Members
السعد، أحمد محمد أحمد
الناصر، حسام محمود
البصول، إبراهيم عزيز
University
Al albayt University
Faculty
Faculty of Sciences
Department
Department of Physics
University Country
Jordan
Degree
Master
Degree Date
2003
Arabic Abstract
تم دراسة الخواص البصرية لأغشية رقيقة من الكربون الشبيه بالماس Diamond Like carbon (DLC) المحضرة بطريقة النقر الفيزيائي بالتردد الراديوي RF Sputtering و بطريقة الترسيب بالتبخير الكيميائي المحفز بالبلازما Plasma Chemical Vapor Deposition (PECVD) باستخدام مطيافية القطع الناقصي Spectroscopic Ellipsometry، عند المدى الطيفي فوق البنفسجي UV و المرئي Visible و قرب تحت الحمراء Near IR. تم الحصول على بيانات القطع الناقصي Ψ و ∆ عند ثلاث زوايا سقوط (65°, 70°, 75°) درجة، و عند مدى الطيف (300-1000nm).
البيانات العملية للانعكاسية عند الزاوية (20°) وبيانات النفاذية لهذه الأغشية م قياسها أيضا. تم مطابقة البيانات العملية مع نموذج مكون من أربع طبقات، حيث استخدم نموذج كوشي Cauchy مع ذيل الامتصاص و نموذج DLC، و أضيف إلى النموذج طبقتين من تقريبات الوسط المؤثر لحساب تأثير خشونة السطح و الطبقة البيئية. أظهرت النتائج أن معامل الانكسار للأغشية المحضرة بطريقة النقر تتراوح بين (1.6-1.81) للعينات التي تحتوي على هيدروحين، و (1.5-1.6) للعينات بدون هيدروجين, كان معامل الانكسار للعينات المحضرة بالترسيب (2017-20.5) حيث تشير إلى أن هذه العينات تمتلك نسبة أعلى من الغرافيت غلى الماس. تم إيجاد فجوة الطاقة البصرية باستخدام طريقة ماكلين Mclean و وجدت بأنها تتراوح بين (1.3-2.3 Ev) معتمدة على كمية الهيدروجين المحتواة في الأغشية و ظروف التحضير. من المقارنة بين الأغشية المحضرة بظروف مختلفة تم إيجاد خواص الأغشية بتأثير النسبة المئوية للهيدروجين و القدرة الكهربائية المطبقة على العينات أثناء عملية التحضير حيث أعطت هذه النتائج معلومات غير مباشرة عن تركيب الغشاء.
Main Subjects
Topics
No. of Pages
82
Table of Contents
فهرس المحتويات / الموضوعات.
الملخص / المستخلص.
الفصل الأول : المقدمة.
الفصل الثاني : أشكال الكربون و تركيبه.
الفصل الثالث : الأسس النظرية للخواص الضوئية.
الفصل الرابع : التجربة و القياس.
الفصل الخامس : تحليل النتائج.
قائمة المراجع.
American Psychological Association (APA)
علاونة، مجدي محمود عبد الله. (2003). الخواص الضوئية لأغشية الكربون الشبيهة بالماس باستخدام مطيافية القطع الناقص. (أطروحة ماجستير). جامعة آل البيت, الأردن
https://search.emarefa.net/detail/BIM-319084
Modern Language Association (MLA)
علاونة، مجدي محمود عبد الله. الخواص الضوئية لأغشية الكربون الشبيهة بالماس باستخدام مطيافية القطع الناقص. (أطروحة ماجستير). جامعة آل البيت. (2003).
https://search.emarefa.net/detail/BIM-319084
American Medical Association (AMA)
علاونة، مجدي محمود عبد الله. (2003). الخواص الضوئية لأغشية الكربون الشبيهة بالماس باستخدام مطيافية القطع الناقص. (أطروحة ماجستير). جامعة آل البيت, الأردن
https://search.emarefa.net/detail/BIM-319084
Language
Arabic
Data Type
Arab Theses
Record ID
BIM-319084
