الخصائص البصرية لأنظمة ZnO SiO2 Si و ZnO Si باستخدام قياس القطع الناقصي

Other Title(s)

Optical properties of ZnO Si & ZnO Si02 Si systems using kjiipsoinetiy measurements

Dissertant

خصاونة، مازن علايا جميل

Thesis advisor

الروسان، أكرم عبد المجيد

Comitee Members

الحلو، محمد مصطفى محمد
أبو الهيجاء، عبد الجواد إبراهيم

University

Al albayt University

Faculty

Faculty of Sciences

Department

Department of Physics

University Country

Jordan

Degree

Master

Degree Date

1998

Arabic Abstract

تمت دراسة مجموعة من الشرائح الرقيقة من مادة أكسيد الخارصين المتبلورة و المحضرة بطريقة البخاخ (Spullering) تحت ظروف مختلفة من درجة حرارة للمادة الأساس و قدرة مطبقة، و بسماكات تراوحت ما بين ٨٣٩-٩٧٠ نانوميتر.

و قد حضرت تلك الشرائح على هيئتين، فقد كانت أربع منها مرسبة على طبقة من السيليكون كمادة أساس، و أربع أخرى رسبت على طبقة من ثاني أكسيد السيليكون المرسب على طبقة من السيليكون. لقد تمت دراسة تركيب تلك الشرائح ؛ و تبين أنها ذات تركيب بلوري منتظم و أن الاتجاه المفضل لها هو المستوى (002) ؛ و بغض النظر عن السمك أو ظروف التحضير.

و يمكن تفسير ذلك على أساس أن عملية الانتظام crystallization قد تمت أثناء ترسب الأنوية على سطح المادة الأساس و ليس أثناء عملية نموها. و لقد تمت دراسة الخصائص البصرية لتلك الشرائح و تشمل : النفاذية و الانعكاسية و التوابت البصرية (معامل الانكسار و معامل الاضمحلال و معامل الامتصاص) و طاقة الفجوة البصرية باستخدام التقنية الدقيقة و غير المدمرة بصريا المعروفة بتنقيية مطيافية القطع الناقصي ذي زوايا السقوط المتغيرة Variable Angle Srtros Epic Ellipsometry V.A.S.E التي تقيس التغير في حالة الاستقطاب للضوء الساقط بعد انعكاسه عن سطح العينة في المدى الطيفي ٢٥0-1100 نانوميتر.

و بما أن تقنية مطيافية القطع الناقصي تقنية منمذجة، فقد تم تحليل النمانج اعتمادا على بناء أنموذج بصري مناسب يحتوي على بعض المعلميات المعروفة، مثل السمك و زاوية السقوط و بعض المعلميات غير المعروفة التي يراد حسابها مثل الثوابت البصرية، حيث تم بداية تمثيل طبقة أكسيد الخارصين بهزاز لورنتز و ذلك لأن المعلميات التجريبية المقاسة Ψ، Δ هي ذات سلوك تذبذبي كما هو الحال في هزاز لورنتز، و ثانيا تم إضافة طبقة خشنة rough فوق هزاز لورنتز مكونة من أكسيد الخارصين و فراغات و من ثم نمذجتها باستخدام تقريب الوسط المكافيء.

و سبب إضافة هذه الطبقة هو التأكسد الحاصل للشرائح نتيجة تعرضها للهواء لفترة طويلة، و بعد ذلك تم إجراء عملية المواءمة fitting بين القيم التجريبية و تلك المحسوبة عن طريق الأنموذج البصري. لقد تراوحت قيمة معامل الانكسار index of refraction ما بين ١٣٠ حيث تم حسابها عن طريقين هما : أولا الأنموذج البصري، و ثانيا استخدام طريقة قياس زاوية بروسترBrewster's angle ، كما وجدنا أن قيمة معامل الاضمحلال extinction coefficient كانت صغيرة جدا في كامل الطيف البصري.

و لم يظهر أي من الثابتين البصريين أي اعتماد على سمك الشرائح بسبب أن التركيب الداخلي لها لم يتغير كما تبين لنا من خلال حيود الأشعة السينية لتلك الشرائح. أما بالنسبة للنفاذية فقد كانت قليلة جدا بسبب أن المادة الأساس غير منفذة. لقد قمنا بحساب طاقة الفجوة البصرية عن طريق الأنموذج البصري، و قد تراوحت قيمتها ما بين ١ .٣-٢ .٣ إلكترون فولت و بخطأ لا يتجاوز ٥ .٤ % عن القيمة المنشورة لتلك المادة و هي ٣.٢ إليكترون فولت و قد عزى هذا الفرق إلى وجود ذرات من الخارصين في تلك الشرائح كما بينته نتائج حيود الأشعة السينية. أما بالنسبة لاعتماد خصائص تلك الشرائح على ظروف التحضير فقد لوحظ أن معدل النمو يزداد بازدياد القدرة المطبقة عند ثبوت درجة حرارة المادة الأساس ؛ الأمر الذي فسر على أساس أن زيادة القدرة تؤدي إلى زيادة تسارع أيونات غاز الأرغون و بالتالي زيادة طاقتها الحركية ؛ مما يؤدي إلى زيادة احتمالية تحرير الذرات من مادة الهدف، و في المحصلة زيادة معدل الترسيب.

Main Subjects

Physics

Topics

No. of Pages

100

Table of Contents

فهرس المحتويات / الموضوعات.

الملخص / المستخلص.

الفصل الأول : مقدمة.

الفصل الثاني : أكسيد الخارصين و الدراسات السابقة.

الفصل الثالث : الأسس النظرية للخصائص البصرية للشرائح الرقيقة.

الفصل الرابع : مطيافية القطع الناقصي.

الفصل الخامس : النتائج العملية و المعالجة الرياضية.

الفصل السادس : المناقشة.

الفصل السابع : الاستنتاج.

قائمة المراجع.

American Psychological Association (APA)

خصاونة، مازن علايا جميل والقضاة، علي نوح علي. (1998). الخصائص البصرية لأنظمة ZnO SiO2 Si و ZnO Si باستخدام قياس القطع الناقصي. (أطروحة ماجستير). جامعة آل البيت, الأردن
https://search.emarefa.net/detail/BIM-319996

Modern Language Association (MLA)

خصاونة، مازن علايا جميل والقضاة، علي نوح علي. الخصائص البصرية لأنظمة ZnO SiO2 Si و ZnO Si باستخدام قياس القطع الناقصي. (أطروحة ماجستير). جامعة آل البيت. (1998).
https://search.emarefa.net/detail/BIM-319996

American Medical Association (AMA)

خصاونة، مازن علايا جميل والقضاة، علي نوح علي. (1998). الخصائص البصرية لأنظمة ZnO SiO2 Si و ZnO Si باستخدام قياس القطع الناقصي. (أطروحة ماجستير). جامعة آل البيت, الأردن
https://search.emarefa.net/detail/BIM-319996

Language

Arabic

Data Type

Arab Theses

Record ID

BIM-319996