استخدام تقنية الإظهار الكيميائي في تحديد اتجاهية المستويات البلورية لشرائح السليكون
Other Title(s)
Using chemical etching technique to determination the crystal orientation for silicon wafer
Joint Authors
إقبال عبد المجيد حميد
سارية ذياب محمد
فاطمة عريص سلطان
Source
Issue
Vol. 28, Issue 8 (30 Jun. 2010)7 p.
Publisher
Publication Date
2010-06-30
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
7
Main Subjects
Engineering & Technology Sciences (Multidisciplinary)
Physics
Chemistry
Topics
Abstract AR
تلعب الاتجاهية البلورية لأشباه الموصلات دورا كبيرا في التأثير على خصائص النبطية المصنعة كالخلية الشمسية و الكاشف الضوئي و نحوهما .في هذا البحث تم استخدام تقنية الإظهار الكيميائي و الفحوصات المجهرية لتحديد التوجيه البلوري لشرائح السليكون الأحادية، حيث أدت عمليات التنعيم و الصقل و محاليل الإظهار المفضلة إلى أظهار ندب الانخلاعات على شكل هيئات هندسية مميزة تشير إلى المستويات البلورية لشرائح السليكون.
بينت الفحوصات المجهرية الاختلاف في هيئات ندب الانخلاعات للمستوى (111) في شرائح السليكون بتأثير اختلاف المحاليل الكيميائية، حيث ظهرت ندب الانخلاعات بأشكال هندسية مثلثية مسطحة عند استخدام محلول KOH بينما أدى محلول CP-4 إلى إظهار تلك الندب بهيئات مثلثية هرمية يشير الرأس إلى الاتجاهية [111].
استخدم خلال هذا البحث محلول أوكسيد الكروم الحامضي في إظهار ندب الانخلاعات للمستويات (100) لشرائح السليكون حيث كانت على هيئة مربعات حادة الحافات مسطحة تشير إلى تلك المستويات و حسب توزيع معامل ملر في النظام المكعب لشرائح السليكون.
American Psychological Association (APA)
سارية ذياب محمد وفاطمة عريص سلطان وإقبال عبد المجيد حميد. 2010. استخدام تقنية الإظهار الكيميائي في تحديد اتجاهية المستويات البلورية لشرائح السليكون. مجلة الهندسة والتكنولوجيا،مج. 28، ع. 8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-381276
Modern Language Association (MLA)
سارية ذياب محمد....[و آخرون]. استخدام تقنية الإظهار الكيميائي في تحديد اتجاهية المستويات البلورية لشرائح السليكون. مجلة الهندسة والتكنولوجيا مج. 28، ع. 8 (2010).
https://search.emarefa.net/detail/BIM-381276
American Medical Association (AMA)
سارية ذياب محمد وفاطمة عريص سلطان وإقبال عبد المجيد حميد. استخدام تقنية الإظهار الكيميائي في تحديد اتجاهية المستويات البلورية لشرائح السليكون. مجلة الهندسة والتكنولوجيا. 2010. مج. 28، ع. 8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-381276
Data Type
Journal Articles
Language
Arabic
Notes
يتضمن ملاحق .
Record ID
BIM-381276
