Caractérisation spectroscopique des couches minces du SnO2 non dopées et dopées fluore elaborées par spray ultrasonique

Abstract FRE

Dans le present travail, nous avons prepare des couches minces de dioxyde d’etain (SnCy non dopees et dopees Fluor (F) pour differents taux de dopage, a partir des solutions de sel d’etain (SnClJ, par le technique spray ultrasonique sur des substrats en verre de microscope ordinaire chauffes a une temperature fixe de 480 °C.

Nous avons analyse les caracteristiques optiques des ces couches minces de Sn02 (transmittance, gap optique et l’indice de refraction) avant et apres dopage.

Nous avons aussi calcule les epaisseurs des couches pour evaluer la vitesse de croissance des ces couches en utilisant la methode des franges (la methode de Manifacier et Swanepoel).

Nous avons utilise la spectroscopie de transmission optique UV-Visible.

Les spectres UV-Visible de transmission optique des couches montrent que les films de Sn02 sont de bonnes qualites avec une transmittance de 74 a 85 % dans le visible et ont un gap optique evalue entre 3.87 a 4 eV.

Nous avons remarques que la vitesse de croissance diminue avec l’augmentation de taux de dopage allant de 300nm / min pour le dope 3 % a 220nm / min pour les couches dopees 6 %.

MOTS-CLfiS : Spray Ultrasonique, Sn02, Proprietes Optiques, Spectroscopie UV-Visible.