تقدير عمق الشوائب لدايود محضر بطريقة الزرع الأيوني باستخدام ESCA
Joint Authors
حازم فاضل محمود
شيت، صلاح عبد الوهاب
Source
التربية و العلم : مجلة علمية للبحوث العلمية الأساسية
Issue
Vol. 21, Issue 2 (30 Jun. 2008), pp.1-6, 6 p.
Publisher
University of Mosul College of Education for Pure Science
Publication Date
2008-06-30
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
6
Main Subjects
Topics
Abstract AR
تشكل معرفة عمق الانتشار واحدة من أهم الجوانب المهمة و هناك عدة طرق معروفة لقياس عمق الشوائب منها استخدام المطياف الكتلي 1) SIMS) و طريقة رذرفورد للاستطارة الخلفية (2) RBS و في هذا البحث تم استخدام تقنية التحليل الكيمياوي لطيف الإلكترون لتقدير عمق شوائب الانديوم داخل شريحة السليكون لثنائي وصلة محضر باستخدام حاقن البلازما النبضي و ذلك باعتماد مقدار الإزاحة الكيمياوية لقمم طيف الإلكترون الضوئي للسليكون و الاستمرار بالقشط لحين اختفاء الإزاحة الكيمياوية ليستدل منها على عمق التطعيم لمادة الانديوم داخل شريحة السليكون و لوحظ أن عمق التطعيم يصل إلى حوالي.
°450 A داخل السليكون.
Abstract EN
Measurement the depth of ion implantation is considered to be one of the important subject in physics, which has been employed by using SIMS and RBS methods.
In this research Electron spectroscopy of chemical Analysis (ESCA) technique has been used to determine the depth of indium ion implantion in P-N Junction silicon semiconductor sample, which has been prepared by using pulse dense plasma focus .
Such determination was depend on the chemical shift of the silicon spectrum.
The prepared sample was scraped until the above noted chemical shift was disappeared.
From this technique the depth of indium doped in the silicon sample was found to be about 450 A°.
American Psychological Association (APA)
شيت، صلاح عبد الوهاب وحازم فاضل محمود. 2008. تقدير عمق الشوائب لدايود محضر بطريقة الزرع الأيوني باستخدام ESCA. التربية و العلم : مجلة علمية للبحوث العلمية الأساسية،مج. 21، ع. 2، ص ص. 1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-622823
Modern Language Association (MLA)
شيت، صلاح عبد الوهاب وحازم فاضل محمود. تقدير عمق الشوائب لدايود محضر بطريقة الزرع الأيوني باستخدام ESCA. التربية و العلم : مجلة علمية للبحوث العلمية الأساسية مج. 21، ع. 2 (حزيران 2008)، ص ص. 1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-622823
American Medical Association (AMA)
شيت، صلاح عبد الوهاب وحازم فاضل محمود. تقدير عمق الشوائب لدايود محضر بطريقة الزرع الأيوني باستخدام ESCA. التربية و العلم : مجلة علمية للبحوث العلمية الأساسية. 2008. مج. 21، ع. 2، ص ص. 1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-622823
Data Type
Journal Articles
Language
Arabic
Notes
يتضمن مراجع ببليوجرافية : ص. 6
Record ID
BIM-622823