Advances in Optical and Magnetooptical Scatterometry of Periodically Ordered Nanostructured Arrays
المؤلفون المشاركون
المصدر
العدد
المجلد 2013، العدد 2013 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 1-10، 10ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2013-01-22
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
10
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
We review recent advances in optical and magnetooptical (MO) scatterometry applied to periodically ordered nanostructures such as periodically patterned lines, wires, dots, or holes.
The techniques are based on spectroscopic ellipsometry (SE), either in the basic or generalized modes, Mueller matrix polarimetry, and MO spectroscopy mainly based on MO Kerr effect measurements.
We briefly present experimental setups, commonly used theoretical approaches, and experimental results obtained by SE and MO spectroscopic analyses of various samples.
The reviewed analyses are mainly related to monitoring optical critical dimensions such as the widths, depths, and periods of the patterned elements, their real shapes, and their line edge or linewidth roughness.
We also discuss the advantages and disadvantages of the optical spectroscopic techniques compared to direct monitoring techniques.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Veis, Martin& Antos, Roman. 2013. Advances in Optical and Magnetooptical Scatterometry of Periodically Ordered Nanostructured Arrays. Journal of Nanomaterials،Vol. 2013, no. 2013, pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1007998
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Veis, Martin& Antos, Roman. Advances in Optical and Magnetooptical Scatterometry of Periodically Ordered Nanostructured Arrays. Journal of Nanomaterials No. 2013 (2013), pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1007998
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Veis, Martin& Antos, Roman. Advances in Optical and Magnetooptical Scatterometry of Periodically Ordered Nanostructured Arrays. Journal of Nanomaterials. 2013. Vol. 2013, no. 2013, pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1007998
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1007998
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر