![](/images/graphics-bg.png)
Indentation-Induced Mechanical Deformation Behaviors of AlN Thin Films Deposited on c-Plane Sapphire
المؤلفون المشاركون
Jian, Sheng-Rui
Juang, Jenh-Yih
المصدر
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-03-18
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
The mechanical properties and deformation behaviors of AlN thin films deposited on c-plane sapphire substrates by helicon sputtering method were determined using the Berkovich nanoindentation and cross-sectional transmission electron microscopy (XTEM).
The load-displacement curves show the “pop-ins” phenomena during nanoindentation loading, indicative of the formation of slip bands caused by the propagation of dislocations.
No evidence of nanoindentation-induced phase transformation or cracking patterns was observed up to the maximum load of 80 mN, from either XTEM or atomic force microscopy (AFM) of the mechanically deformed regions.
Instead, XTEM revealed that the primary deformation mechanism in AlN thin films is via propagation of dislocations on both basal and pyramidal planes.
Furthermore, the hardness and Young’s modulus of AlN thin films estimated using the continuous contact stiffness measurements (CSMs) mode provided with the nanoindenter are 16.2 GPa and 243.5 GPa, respectively.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Jian, Sheng-Rui& Juang, Jenh-Yih. 2012. Indentation-Induced Mechanical Deformation Behaviors of AlN Thin Films Deposited on c-Plane Sapphire. Journal of Nanomaterials،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1029317
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Jian, Sheng-Rui& Juang, Jenh-Yih. Indentation-Induced Mechanical Deformation Behaviors of AlN Thin Films Deposited on c-Plane Sapphire. Journal of Nanomaterials No. 2012 (2012), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1029317
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Jian, Sheng-Rui& Juang, Jenh-Yih. Indentation-Induced Mechanical Deformation Behaviors of AlN Thin Films Deposited on c-Plane Sapphire. Journal of Nanomaterials. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1029317
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1029317
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)