The Mechanical and Electrical Effects of MEMS Capacitive Pressure Sensor Based 3C-SiC for Extreme Temperature
المؤلفون المشاركون
Marsi, N.
Majlis, B. Y.
Hamzah, A. A.
Mohd-Yasin, F.
المصدر
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-05-22
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This paper discusses the mechanical and electrical effects on 3C-SiC and Si thin film as a diaphragm for MEMS capacitive pressure sensor operating for extreme temperature which is 1000 K.
This work compares the design of a diaphragm based MEMS capacitive pressure sensor employing 3C-SiC and Si thin films.
A 3C-SiC diaphragm was bonded with a thickness of 380 μm Si substrate, and a cavity gap of 2.2 μm is formed between the wafers.
The MEMS capacitive pressure sensor designs were simulated using COMSOL ver 4.3 software to compare the diaphragm deflection, capacitive performance analysis, von Mises stress, and total electrical energy performance.
Both materials are designed with the same layout dimensional with different thicknesses of the diaphragm which are 1.0 μm, 1.6 μm, and 2.2 μm.
It is observed that the 3C-SiC thin film is far superior materials to Si thin film mechanically in withstanding higher applied pressures and temperatures.
For 3C-SiC and Si, the maximum von Mises stress achieved is 148.32 MPa and 125.48 MPa corresponding to capacitance value which is 1.93 pF and 1.22 pF, respectively.
In terms of electrical performance, the maximum output capacitance of 1.93 pF is obtained with less total energy of 5.87 × 10−13 J, thus having a 50% saving as compared to Si.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Marsi, N.& Majlis, B. Y.& Hamzah, A. A.& Mohd-Yasin, F.. 2014. The Mechanical and Electrical Effects of MEMS Capacitive Pressure Sensor Based 3C-SiC for Extreme Temperature. Journal of Engineering،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1040437
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Marsi, N.…[et al.]. The Mechanical and Electrical Effects of MEMS Capacitive Pressure Sensor Based 3C-SiC for Extreme Temperature. Journal of Engineering No. 2014 (2014), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1040437
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Marsi, N.& Majlis, B. Y.& Hamzah, A. A.& Mohd-Yasin, F.. The Mechanical and Electrical Effects of MEMS Capacitive Pressure Sensor Based 3C-SiC for Extreme Temperature. Journal of Engineering. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1040437
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1040437
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر