ZnO Thin-Film Transistor Grown by rf Sputtering Using Carbon Dioxide and Substrate Bias Modulation
المؤلفون المشاركون
Kim, Junghwan
Meng, Jun
Lee, Donghoon
Yu, Meng
Yoo, Dukyean
Kang, Doo Won
Jo, Jungyol
المصدر
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-11-11
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
ZnO thin-film transistor (TFT) grown by rf magnetron sputtering in Ar/O2 atmosphere shows inferior turn-off characteristics compared to ZnO TFT grown by other methods.
We thought that reactions between Zn and O2 might produce defects responsible for the poor turn-off behavior.
In order to solve this problem, we studied sputtering growth in Ar/CO2 atmosphere at 450°C.
During sputtering growth, we modulated substrate dc bias to control ion supply to the substrate.
After growth ZnO was annealed in CO2 and O2 gas.
With these methods, our bottom-gate ZnO thin-film transistor showed 4.7 cm2/Vsec mobility, 4 × 10 6 on/off ratio, and –2 V threshold voltage.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Kim, Junghwan& Meng, Jun& Lee, Donghoon& Yu, Meng& Yoo, Dukyean& Kang, Doo Won…[et al.]. 2014. ZnO Thin-Film Transistor Grown by rf Sputtering Using Carbon Dioxide and Substrate Bias Modulation. Journal of Nanomaterials،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041825
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Kim, Junghwan…[et al.]. ZnO Thin-Film Transistor Grown by rf Sputtering Using Carbon Dioxide and Substrate Bias Modulation. Journal of Nanomaterials No. 2014 (2014), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041825
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Kim, Junghwan& Meng, Jun& Lee, Donghoon& Yu, Meng& Yoo, Dukyean& Kang, Doo Won…[et al.]. ZnO Thin-Film Transistor Grown by rf Sputtering Using Carbon Dioxide and Substrate Bias Modulation. Journal of Nanomaterials. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1041825
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1041825
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر