Development of Simple Designs of Multitip Probe Diagnostic Systems for RF Plasma Characterization
المؤلفون المشاركون
Naz, M. Y.
Shukrullah, S.
Rehman, N. U.
Ghaffar, Abdul
المصدر
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-02-05
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الطب البشري
تكنولوجيا المعلومات وعلم الحاسوب
الملخص EN
Multitip probes are very useful diagnostics for analyzing and controlling the physical phenomena occurring in low temperature discharge plasmas.
However, DC biased probes often fail to perform well in processing plasmas.
The objective of the work was to deduce simple designs of DC biased multitip probes for parametric study of radio frequency plasmas.
For this purpose, symmetric double probe, asymmetric double probe, and symmetric triple probe diagnostic systems and their driving circuits were designed and tested in an inductively coupled plasma (ICP) generated by a 13.56 MHz radio frequency (RF) source.
Using I - V characteristics of these probes, electron temperature, electron number density, and ion saturation current was measured as a function of input power and filling gas pressure.
An increasing trend was noticed in electron temperature and electron number density for increasing input RF power whilst a decreasing trend was evident in these parameters when measured against filling gas pressure.
In addition, the electron energy probability function (EEPF) was also studied by using an asymmetric double probe.
These studies confirmed the non-Maxwellian nature of the EEPF and the presence of two groups of the energetic electrons at low filling gas pressures.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Naz, M. Y.& Shukrullah, S.& Ghaffar, Abdul& Rehman, N. U.. 2014. Development of Simple Designs of Multitip Probe Diagnostic Systems for RF Plasma Characterization. The Scientific World Journal،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1049047
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Naz, M. Y.…[et al.]. Development of Simple Designs of Multitip Probe Diagnostic Systems for RF Plasma Characterization. The Scientific World Journal No. 2014 (2014), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1049047
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Naz, M. Y.& Shukrullah, S.& Ghaffar, Abdul& Rehman, N. U.. Development of Simple Designs of Multitip Probe Diagnostic Systems for RF Plasma Characterization. The Scientific World Journal. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1049047
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1049047
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر