Characterization on Contacting Surfaces of MEMS Electrostatic Switches by SEM, EDXA, and XPS
المؤلفون المشاركون
Afinogenov, I. A.
Zeltser, I. A.
Trunin, E. B.
Tolstoguzov, A.
المصدر
Advances in Materials Science and Engineering
العدد
المجلد 2015، العدد 2015 (31 ديسمبر/كانون الأول 2015)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2015-03-05
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
الملخص EN
We focus on the origin and sources of surface contamination and defects causing the failure of MEMS electrostatic switches.
The morphology, and elemental and chemical compositions of the contacting surfaces, conducting paths, and other parts of switches have been characterized by means of SEM, EDXA, and XPS in order to understand the difference between the data collected for the devices that had passed the electrical conductivity test and those found to be defective.
C, O, Al, Ca, Ti, Cu, and some other impurities were detected on the details of defective switches.
Contrariwise, the working switches were found to be clean, at least on the level of EDXA and XPS sensitivity.
The main sources of surface contamination and defects were incompletely deleted sacrificial layers, substrate materials, and electrolytes employed for Rh plating of the contacts.
The negative influence of foreign microparticles, especially alumina and copper oxides, on the conductivity and porosity of contacts was highlighted.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Afinogenov, I. A.& Zeltser, I. A.& Trunin, E. B.& Tolstoguzov, A.. 2015. Characterization on Contacting Surfaces of MEMS Electrostatic Switches by SEM, EDXA, and XPS. Advances in Materials Science and Engineering،Vol. 2015, no. 2015, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1053605
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Afinogenov, I. A.…[et al.]. Characterization on Contacting Surfaces of MEMS Electrostatic Switches by SEM, EDXA, and XPS. Advances in Materials Science and Engineering No. 2015 (2015), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1053605
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Afinogenov, I. A.& Zeltser, I. A.& Trunin, E. B.& Tolstoguzov, A.. Characterization on Contacting Surfaces of MEMS Electrostatic Switches by SEM, EDXA, and XPS. Advances in Materials Science and Engineering. 2015. Vol. 2015, no. 2015, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1053605
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1053605
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر