Pull-In Analysis of the Flat Circular CMUT Cell Featuring Sealed Cavity
المؤلفون المشاركون
Zhang, Wen
Zhang, Hui
Du, Fei
Shi, Jianchao
Jin, Shijiu
Zeng, Zhoumo
المصدر
Mathematical Problems in Engineering
العدد
المجلد 2015، العدد 2015 (31 ديسمبر/كانون الأول 2015)، ص ص. 1-9، 9ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2015-09-01
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUTs) are one of the appealing MEMS devices.
Most studies treat CMUTs as rigid plates vibrating in open air, ignoring the mechanical boundary conditions for simplification and resulting in cumulative errors in coupled fields.
This paper presents a new analytical model for the pull-in characteristics of the flat circular CMUT cell featuring sealed cavity.
Utilizing the plate theory coupled with Boyle’s law, the paper establishes a strong relation between the pressures inside the sealed cavity and the pull-in characteristics for the first time.
Not only did we point out that the existence of the pressure inside the sealed cavity cannot be omitted, but we also quantified the direct effect of the pressure ratios on the pull-in phenomenon.
The pull-in voltages increase while the pull-in ratios decrease with the pressure ratios of the pressure inside the sealed cavity to the ambient pressure.
The proposed calculation process delivers a good approximation of the pull-in voltages and displacements, which are consistent with COMSOL simulation results.
Particularly, the percentage error of our calculation process is 6.986% for the worst case.
Therefore, our proposed analytical model accurately and efficiently predicts the pull-in characteristics and this paper offers new perspectives and reference value in designing and modeling the CMUTs.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Zhang, Wen& Zhang, Hui& Du, Fei& Shi, Jianchao& Jin, Shijiu& Zeng, Zhoumo. 2015. Pull-In Analysis of the Flat Circular CMUT Cell Featuring Sealed Cavity. Mathematical Problems in Engineering،Vol. 2015, no. 2015, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1073014
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Zhang, Wen…[et al.]. Pull-In Analysis of the Flat Circular CMUT Cell Featuring Sealed Cavity. Mathematical Problems in Engineering No. 2015 (2015), pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1073014
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Zhang, Wen& Zhang, Hui& Du, Fei& Shi, Jianchao& Jin, Shijiu& Zeng, Zhoumo. Pull-In Analysis of the Flat Circular CMUT Cell Featuring Sealed Cavity. Mathematical Problems in Engineering. 2015. Vol. 2015, no. 2015, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1073014
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1073014
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر