![](/images/graphics-bg.png)
Position Analysis of a Hybrid Serial-Parallel Manipulator in Immersion Lithography
المؤلفون المشاركون
Shao, Jie-jie
Ma, Tong
Chen, Wen-yu
Fu, Xin
المصدر
Mathematical Problems in Engineering
العدد
المجلد 2015، العدد 2015 (31 ديسمبر/كانون الأول 2015)، ص ص. 1-14، 14ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2015-04-05
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
14
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This paper proposes a novel hybrid serial-parallel mechanism with 6 degrees of freedom.
The new mechanism combines two different parallel modules in a serial form.
3-P̲(PH) parallel module is architecture of 3 degrees of freedom based on higher joints and specializes in describing two planes’ relative pose.
3-P̲SP parallel module is typical architecture which has been widely investigated in recent researches.
In this paper, the direct-inverse position problems of the 3-P̲SP parallel module in the couple mixed-type mode are analyzed in detail, and the solutions are obtained in an analytical form.
Furthermore, the solutions for the direct and inverse position problems of the novel hybrid serial-parallel mechanism are also derived and obtained in the analytical form.
The proposed hybrid serial-parallel mechanism is applied to regulate the immersion hood’s pose in an immersion lithography system.
Through measuring and regulating the pose of the immersion hood with respect to the wafer surface simultaneously, the immersion hood can track the wafer surface’s pose in real-time and the gap status is stabilized.
This is another exploration to hybrid serial-parallel mechanism’s application.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Shao, Jie-jie& Ma, Tong& Chen, Wen-yu& Fu, Xin. 2015. Position Analysis of a Hybrid Serial-Parallel Manipulator in Immersion Lithography. Mathematical Problems in Engineering،Vol. 2015, no. 2015, pp.1-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1074169
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Shao, Jie-jie…[et al.]. Position Analysis of a Hybrid Serial-Parallel Manipulator in Immersion Lithography. Mathematical Problems in Engineering No. 2015 (2015), pp.1-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1074169
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Shao, Jie-jie& Ma, Tong& Chen, Wen-yu& Fu, Xin. Position Analysis of a Hybrid Serial-Parallel Manipulator in Immersion Lithography. Mathematical Problems in Engineering. 2015. Vol. 2015, no. 2015, pp.1-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1074169
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1074169
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)