Characterization of Al-Doped ZnO Transparent Conducting Thin Film Prepared by Off-Axis Magnetron Sputtering
المؤلفون المشاركون
Kao, Kuo-Sheng
Ou, Sin-Liang
Lai, Feng-Min
Yuan, Lun-Wei
Cheng, Da-Long
المصدر
العدد
المجلد 2016، العدد 2016 (31 ديسمبر/كانون الأول 2016)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2016-08-08
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
The off-axis sputtering technique was used to deposit Al-doped ZnO (AZO) films on glass substrates at room temperature.
For the illustration of the sample position in the sputtering chamber, the value of R / r is introduced.
Here, r is the radius of AZO target and R is the distance between the sample and the center of substrate holder.
A systematic study for the effect of deposition parameters on structural, optical, and electrical properties of AZO films has been investigated in detail.
As the sample position of R / r is fixed at 1.8, it is found that the as-deposited AZO film has relatively low resistivity of 2.67 × 10−3 Ω-cm and high transmittance above 80% in the visible region.
Additionally, after rapid thermal annealing (RTA) at 600°C with N2 atmosphere, the resistivity of this AZO film can be further reduced to 1.19 × 10−3 Ω-cm.
This indicates the AZO films prepared by off-axis magnetron sputtering and treated via the appropriate RTA process have great potential in optoelectronic applications.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Ou, Sin-Liang& Lai, Feng-Min& Yuan, Lun-Wei& Cheng, Da-Long& Kao, Kuo-Sheng. 2016. Characterization of Al-Doped ZnO Transparent Conducting Thin Film Prepared by Off-Axis Magnetron Sputtering. Journal of Nanomaterials،Vol. 2016, no. 2016, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1109297
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Ou, Sin-Liang…[et al.]. Characterization of Al-Doped ZnO Transparent Conducting Thin Film Prepared by Off-Axis Magnetron Sputtering. Journal of Nanomaterials No. 2016 (2016), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1109297
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Ou, Sin-Liang& Lai, Feng-Min& Yuan, Lun-Wei& Cheng, Da-Long& Kao, Kuo-Sheng. Characterization of Al-Doped ZnO Transparent Conducting Thin Film Prepared by Off-Axis Magnetron Sputtering. Journal of Nanomaterials. 2016. Vol. 2016, no. 2016, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1109297
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1109297
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر