Modal Analysis of a Single-Structure Multiaxis MEMS Gyroscope
المؤلفون المشاركون
Shah, Ibrar A.
Shah, Muhammad Ali
Iqbal, Faisal
Lee, Byeungleul
المصدر
العدد
المجلد 2016، العدد 2016 (31 ديسمبر/كانون الأول 2016)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2016-12-14
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This paper reports on designing a single-structure triaxes MEMS capacitive gyroscope which is capable of measuring the three angular velocities on a single drive.
A Z-shaped beam for the support of folded coupling spring has been applied to suppress the unwanted mode and decrease the stress effect at the spring ends.
The unique coupling spring has changed the driving motion, due to which slide film damping in the driving mode has been reduced.
This reduction can lead to higher performance of the sensor with less requirements on vacuum level which decreases the cost of fabrication.
Simulation analysis has been performed in COMSOL Multiphysics and Matlab Simulink to finalize the design for fabrication.
After finite element analysis, the driving, x -sensing, z -sensing, and y -sensing are, respectively, found to be 13.30 KHz, 13.40 KHz, 13.47 KHz, and 13.51 KHz.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Shah, Muhammad Ali& Iqbal, Faisal& Shah, Ibrar A.& Lee, Byeungleul. 2016. Modal Analysis of a Single-Structure Multiaxis MEMS Gyroscope. Journal of Sensors،Vol. 2016, no. 2016, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1110475
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Shah, Muhammad Ali…[et al.]. Modal Analysis of a Single-Structure Multiaxis MEMS Gyroscope. Journal of Sensors No. 2016 (2016), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1110475
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Shah, Muhammad Ali& Iqbal, Faisal& Shah, Ibrar A.& Lee, Byeungleul. Modal Analysis of a Single-Structure Multiaxis MEMS Gyroscope. Journal of Sensors. 2016. Vol. 2016, no. 2016, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1110475
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1110475
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر