![](/images/graphics-bg.png)
EGFET pH Sensor Performance Dependence on Sputtered TiO2 Sensing Membrane Deposition Temperature
المؤلفون المشاركون
Yusof, Khairul Aimi
Abdul Rahman, Rohanieza
Zulkefle, Muhammad AlHadi
Abdullah, Wan Fazlida Hanim
Herman, Sukreen Hana
المصدر
العدد
المجلد 2016، العدد 2016 (31 ديسمبر/كانون الأول 2016)، ص ص. 1-9، 9ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2016-08-18
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Titanium dioxide (TiO2) thin films were sputtered by radio frequency (RF) magnetron sputtering method and have been employed as the sensing membrane of an extended gate field effect transistor (EGFET) for pH sensing detection application.
The TiO2 thin films were deposited onto indium tin oxide (ITO) coated glass substrates at room temperature and 200°C, respectively.
The effect of deposition temperature on thin film properties and pH detection application was analyzed.
The TiO2 samples used as the sensing membrane for EGFET pH-sensor and the current-voltage (I-V), hysteresis, and drift characteristics were examined.
The sensitivity of TiO2 EGFET sensing membrane was obtained from the transfer characteristic (I-V) curves for different substrate heating temperatures.
TiO2 thin film sputtered at room temperature achieved higher sensitivity of 59.89 mV/pH compared to the one deposited at 200°C indicating lower sensitivity of 37.60 mV/pH.
Moreover the hysteresis and the drift of TiO2 thin film deposited at room temperature showed lower values compared to the one at 200°C.
We have also tested the effect of operating temperature on the performance of the EGFET pH-sensing and found that the temperature effect was very minimal.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Yusof, Khairul Aimi& Abdul Rahman, Rohanieza& Zulkefle, Muhammad AlHadi& Herman, Sukreen Hana& Abdullah, Wan Fazlida Hanim. 2016. EGFET pH Sensor Performance Dependence on Sputtered TiO2 Sensing Membrane Deposition Temperature. Journal of Sensors،Vol. 2016, no. 2016, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1110605
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Yusof, Khairul Aimi…[et al.]. EGFET pH Sensor Performance Dependence on Sputtered TiO2 Sensing Membrane Deposition Temperature. Journal of Sensors No. 2016 (2016), pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1110605
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Yusof, Khairul Aimi& Abdul Rahman, Rohanieza& Zulkefle, Muhammad AlHadi& Herman, Sukreen Hana& Abdullah, Wan Fazlida Hanim. EGFET pH Sensor Performance Dependence on Sputtered TiO2 Sensing Membrane Deposition Temperature. Journal of Sensors. 2016. Vol. 2016, no. 2016, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1110605
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1110605
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)