Online-Offline Optimized Motion Profile for High-Dynamic Positioning of Ultraprecision Dual Stage
المؤلفون المشاركون
المصدر
العدد
المجلد 2018، العدد 2018 (31 ديسمبر/كانون الأول 2018)، ص ص. 1-13، 13ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2018-08-23
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
13
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
The wafer stage in dual-stage lithographic system is an air-bearing servo motion platform requiring high positioning accuracy and high transient performance.
However, the residual vibration, resulting from almost zero damping, high velocity, parallel decoupling structure, and direct drive, brings about unacceptable overshoot and settling time.
To suppress these unfavorable elements in high dynamic motion, a novel motion profile planning method combined with input shaping is proposed in this paper.
Firstly, a trajectory named all free S-curve (AFS-curve) is derived, which has less constraints and better performance than traditional S-curve profile.
Then, AFS-curve combined with a zero vibration shaper (ZV) is developed to further suppress residual vibration.
Due to the very complex parameter adjustment, the online tuning may cause system oscillation that leads to damage of the precision stage.
This paper, furthermore, proposes an online-offline method to optimize the parameters in the motion profile.
Online step is performed to collect input and output data.
Offline step includes the system model identification based on I/O data and parameter self-learning based on particle swarm optimization (PSO).
The simulation and experimental results indicate that the proposed method achieves significant reduction of the positioning time and the overshoot in the dual-stage system.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Liu, Yang& Dong, Yue& Tan, Jiubin. 2018. Online-Offline Optimized Motion Profile for High-Dynamic Positioning of Ultraprecision Dual Stage. Complexity،Vol. 2018, no. 2018, pp.1-13.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1134444
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Liu, Yang…[et al.]. Online-Offline Optimized Motion Profile for High-Dynamic Positioning of Ultraprecision Dual Stage. Complexity No. 2018 (2018), pp.1-13.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1134444
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Liu, Yang& Dong, Yue& Tan, Jiubin. Online-Offline Optimized Motion Profile for High-Dynamic Positioning of Ultraprecision Dual Stage. Complexity. 2018. Vol. 2018, no. 2018, pp.1-13.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1134444
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1134444
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر