![](/images/graphics-bg.png)
A New Linear Motor Force Ripple Compensation Method Based on Inverse Model Iterative Learning and Robust Disturbance Observer
المؤلفون المشاركون
Yang, Xiaofeng
Fu, Xuewei
Chen, Zhenyu
المصدر
العدد
المجلد 2018، العدد 2018 (31 ديسمبر/كانون الأول 2018)، ص ص. 1-19، 19ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2018-12-02
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
19
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Permanent magnet linear motors (PMLMs) are gaining increasing interest in ultra-precision and long stroke motion stage, such as reticle and wafer stage of scanner for semiconductor lithography.
However, the performances of PMLM are greatly affected by inherent force ripple.
A number of compensation methods have been studied to solve its influence to the system precision.
However, aiming at some application, the system characteristics limit the design of controller.
In this paper, a new compensation strategy based on the inverse model iterative learning control and robust disturbance observer is proposed to suppress the influence of force ripple.
The proposed compensation method makes fully use of not only achievable high tracking accuracy of the inverse model iterative learning control but also the higher robustness and better iterative learning speed by using robust disturbance observer.
Simulation and experiments verify effectiveness and superiority of the proposed method.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Fu, Xuewei& Yang, Xiaofeng& Chen, Zhenyu. 2018. A New Linear Motor Force Ripple Compensation Method Based on Inverse Model Iterative Learning and Robust Disturbance Observer. Complexity،Vol. 2018, no. 2018, pp.1-19.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1136842
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Fu, Xuewei…[et al.]. A New Linear Motor Force Ripple Compensation Method Based on Inverse Model Iterative Learning and Robust Disturbance Observer. Complexity No. 2018 (2018), pp.1-19.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1136842
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Fu, Xuewei& Yang, Xiaofeng& Chen, Zhenyu. A New Linear Motor Force Ripple Compensation Method Based on Inverse Model Iterative Learning and Robust Disturbance Observer. Complexity. 2018. Vol. 2018, no. 2018, pp.1-19.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1136842
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1136842
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)