Fabrication of Si3N4-Based Artificial Basilar Membrane with ZnO Nanopillar Using MEMS Process
المؤلفون المشاركون
Kwak, Jun-Hyuk
Jung, Youngdo
Song, Kyungjun
Hur, Shin
المصدر
العدد
المجلد 2017، العدد 2017 (31 ديسمبر/كانون الأول 2017)، ص ص. 1-11، 11ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2017-07-09
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
11
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This paper presents the fabrication of Si3N4-based artificial basilar membrane (ABM) with ZnO nanopillar array.
Structure of ABMs is composed of the logarithmically varying membrane fabricated by MEMS process and piezonanopillar array grown on the Si3N4-based membrane by hydrothermal method.
We fabricate the bottom substrate containing Si3N4-based membrane for inducing the resonant motions from the sound wave and the top substrates of electrodes for acquiring electric signals.
In addition, the bonding process of the top and bottom substrate is performed to build ABM device.
Depending on sound wave input of the specific frequency, specific location of the ABM produces a resonant behavior.
Then a local deformation of the piezonanopillar array produces an electric signal between top and bottom electrode.
As experimental results of the fabricated ABM, the measured resonant frequencies are 2.34 kHz, 3.97 kHz, and 8.80 kHz and the produced electrical voltages on each resonant frequency are 794 nV, 398 nV, and 89 nV.
Thus, this fabricated ABM device shows the possibility of being a biomimetic acoustic device.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Kwak, Jun-Hyuk& Jung, Youngdo& Song, Kyungjun& Hur, Shin. 2017. Fabrication of Si3N4-Based Artificial Basilar Membrane with ZnO Nanopillar Using MEMS Process. Journal of Sensors،Vol. 2017, no. 2017, pp.1-11.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1186804
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Kwak, Jun-Hyuk…[et al.]. Fabrication of Si3N4-Based Artificial Basilar Membrane with ZnO Nanopillar Using MEMS Process. Journal of Sensors No. 2017 (2017), pp.1-11.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1186804
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Kwak, Jun-Hyuk& Jung, Youngdo& Song, Kyungjun& Hur, Shin. Fabrication of Si3N4-Based Artificial Basilar Membrane with ZnO Nanopillar Using MEMS Process. Journal of Sensors. 2017. Vol. 2017, no. 2017, pp.1-11.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1186804
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1186804
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر