Electrical Trimming Characteristics of Polysilicon Nanofilms with Different Doping Concentrations and Deposition Temperatures
المؤلفون المشاركون
Lu, Xuebin
Weng, Rui
Han, Xiaowei
Yu, Bin
Yang, Bing
المصدر
العدد
المجلد 2020، العدد 2020 (31 ديسمبر/كانون الأول 2020)، ص ص. 1-11، 11ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2020-02-24
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
11
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Polysilicon nanofilm (PSNF) can provide a large gauge factor and good temperature stability, which promotes their application in piezoresistive sensing devices.
Electrical trimming is necessary to further improve the stability and matching of piezoresistive resistors after sensor fabrication.
The advantages of PSNF are realized by first preparing PSNF samples with different doping concentrations and deposition temperatures.
By applying an incremental DC current that is higher than the threshold current of the PSNF resistors, the PSNF resistors are trimmed and the resistance changes are measured.
The results of electrical trimming show that the threshold current, trimming rate, and trimming error are related to the doping concentration and deposition temperature.
According to tunneling piezoresistive theory and the interstitial-vacancy pair model, the experimental results are expounded.
These results are useful for the design and fabrication of PSNF piezoresistive sensors.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Lu, Xuebin& Weng, Rui& Han, Xiaowei& Yu, Bin& Yang, Bing. 2020. Electrical Trimming Characteristics of Polysilicon Nanofilms with Different Doping Concentrations and Deposition Temperatures. Journal of Nanomaterials،Vol. 2020, no. 2020, pp.1-11.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1188551
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Lu, Xuebin…[et al.]. Electrical Trimming Characteristics of Polysilicon Nanofilms with Different Doping Concentrations and Deposition Temperatures. Journal of Nanomaterials No. 2020 (2020), pp.1-11.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1188551
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Lu, Xuebin& Weng, Rui& Han, Xiaowei& Yu, Bin& Yang, Bing. Electrical Trimming Characteristics of Polysilicon Nanofilms with Different Doping Concentrations and Deposition Temperatures. Journal of Nanomaterials. 2020. Vol. 2020, no. 2020, pp.1-11.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1188551
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1188551
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر