Mechanical Characterization of Torsional Micropaddles Using Atomic Force Microscopy
المؤلفون المشاركون
Mahmoodi, N.
Sabouri, A.
Bowen, J.
Anthony, C. J.
Mendes, P. M.
المصدر
العدد
المجلد 2018، العدد 2018 (31 ديسمبر/كانون الأول 2018)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2018-08-07
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
The reference cantilever method is shown to act as a direct and simple method for determination of torsional spring constant.
It has been applied to the characterization of micropaddle structures similar to those proposed for resonant functionalized chemical sensors and resonant thermal detectors.
It is shown that this method can be used as an effective procedure to characterize a key parameter of these devices and would be applicable to characterization of other similar MEMS/NEMS devices such as micromirrors.
In this study, two sets of micropaddles are manufactured (beams at centre and offset by 2.5 μm) by using LPCVD silicon nitride as a substrate.
The patterning is made by direct milling using focused ion beam.
The torsional spring constant is achieved through micromechanical analysis via atomic force microscopy.
To obtain the gradient of force curve, the area of the micropaddle is scanned and the behaviour of each pixel is investigated through an automated developed code.
The experimental results are in a good agreement with theoretical results.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Mahmoodi, N.& Sabouri, A.& Bowen, J.& Anthony, C. J.& Mendes, P. M.. 2018. Mechanical Characterization of Torsional Micropaddles Using Atomic Force Microscopy. Journal of Sensors،Vol. 2018, no. 2018, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1201674
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Mahmoodi, N.…[et al.]. Mechanical Characterization of Torsional Micropaddles Using Atomic Force Microscopy. Journal of Sensors No. 2018 (2018), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1201674
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Mahmoodi, N.& Sabouri, A.& Bowen, J.& Anthony, C. J.& Mendes, P. M.. Mechanical Characterization of Torsional Micropaddles Using Atomic Force Microscopy. Journal of Sensors. 2018. Vol. 2018, no. 2018, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1201674
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1201674
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر