![](/images/graphics-bg.png)
Stability Analysis of a Proximate Time Optimal Controlled Electrostatic Suspension System Using Piezo Actuator via Lyapunov Functional Approach
المؤلف
المصدر
Mathematical Problems in Engineering
العدد
المجلد 2020، العدد 2020 (31 ديسمبر/كانون الأول 2020)، ص ص. 1-14، 14ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2020-01-22
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
14
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
An electrostatic suspension of silicon wafer using proximate time optimal control has been successfully developed.
In this system, the movable electrodes which are supplied by constant voltage and actuated by the piezoelectric (PZT) actuator are used instead of stationary electrodes like previous systems.
The changing of the gap length between movable electrodes and the suspended object will create varying capacitances that can control the electrostatic forces.
To overcome the problem of actuator saturation of the piezo actuator, a proximate time optimal control is used to stabilize the system.
The system stability is theoretically investigated using Lyapunov’s function.
The constant voltage supplying to the electrode is an important parameter, and it is also determined.
The paper presents series of the simulation and experimental results that prove completely suspension of 4-inch silicon wafer without any mechanical contact.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Le, T. T.. 2020. Stability Analysis of a Proximate Time Optimal Controlled Electrostatic Suspension System Using Piezo Actuator via Lyapunov Functional Approach. Mathematical Problems in Engineering،Vol. 2020, no. 2020, pp.1-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1202306
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Le, T. T.. Stability Analysis of a Proximate Time Optimal Controlled Electrostatic Suspension System Using Piezo Actuator via Lyapunov Functional Approach. Mathematical Problems in Engineering No. 2020 (2020), pp.1-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1202306
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Le, T. T.. Stability Analysis of a Proximate Time Optimal Controlled Electrostatic Suspension System Using Piezo Actuator via Lyapunov Functional Approach. Mathematical Problems in Engineering. 2020. Vol. 2020, no. 2020, pp.1-14.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1202306
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1202306
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)