Reaction Force Compensator for High-Speed Precision Stage of Laser Direct Imaging Process
المؤلفون المشاركون
Jeon, YongHo
Lee, Moon G.
Seo, Chang-hoon
Lee, Hyung-ku
Kim, Hyo-young
المصدر
العدد
المجلد 2018، العدد 2018 (31 ديسمبر/كانون الأول 2018)، ص ص. 1-9، 9ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2018-06-19
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Recently, laser direct imaging (LDI) process has become popular as a substitute for lithography in flexible printed circuit board (FPCB) manufacturing industry.
However, repeated motion of the process equipment causes residual vibration in a transient state when the stage accelerates or decelerates.
The supporting structure for the laser head is complex and heavy in order to increase the resonant frequency, because the residual vibration must be controlled below a certain level for the LDI process precision.
If the vibration cannot be rejected, the controller needs longer settling time; therefore, the productivity is reduced.
In this study, a reaction force compensator (RFC) for the granite of a precision stage in the equipment is proposed to minimize the detrimental vibration and steady state error.
First, displacement is measured with a laser Doppler vibrometer (LDV) to identify the dynamic characteristics of a pneumatic isolator for the stage.
Second, the compensator’s mechanism design is proposed by using a voice coil motor and capacitive displacement sensor.
Third, a hybrid control algorithm combining the RFC and PID is applied to reduce the vibration.
Finally, the RFC is evaluated in terms of vibration peak and steady state error.
The LDI apparatus is stabilized more rapidly, because the proposed method cancels the impulsive reaction force of linear motion module immediately.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Seo, Chang-hoon& Jeon, YongHo& Lee, Hyung-ku& Kim, Hyo-young& Lee, Moon G.. 2018. Reaction Force Compensator for High-Speed Precision Stage of Laser Direct Imaging Process. Shock and Vibration،Vol. 2018, no. 2018, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1215485
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Seo, Chang-hoon…[et al.]. Reaction Force Compensator for High-Speed Precision Stage of Laser Direct Imaging Process. Shock and Vibration No. 2018 (2018), pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1215485
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Seo, Chang-hoon& Jeon, YongHo& Lee, Hyung-ku& Kim, Hyo-young& Lee, Moon G.. Reaction Force Compensator for High-Speed Precision Stage of Laser Direct Imaging Process. Shock and Vibration. 2018. Vol. 2018, no. 2018, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1215485
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1215485
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر