Membraneless piezoelectric MEMS speakers based on AlN thin film

العناوين الأخرى

مكبرات الصوت الكهر ضغطية الكهروميكانيكية الدقيقة بدون أغشية اعتمادا على أفلام نيتريد الألومنيوم

المؤلف

Fawzi, Ahmad

المصدر

Journal of Engineering Sciences

العدد

المجلد 50، العدد 1 (31 يناير/كانون الثاني 2022)، ص ص. 1-8، 8ص.

الناشر

جامعة أسيوط كلية الهندسة

تاريخ النشر

2022-01-31

دولة النشر

مصر

عدد الصفحات

8

التخصصات الرئيسية

الهندسة الكهربائية

الموضوعات

الملخص AR

يشير هذا البحث إلى مكبرات صوت من نيتريد الألومنيوم الكهرو ضغطي (AIN) القائمة على الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS) نقدم هندسة جديدة للسماعات الصغيرة التي تعتمد على AIN لتلبية متطلبات التطبيقات الحديثة مثل الهواتف والأجهزة اللوحية وأجهزة الكمبيوتر المحمولة وتطبيقات الأذن.

نقدم مبدأ التصميم ونتائج التوصيف.

تم تصنيع مكبرات الصوت على تجويف سيليكون على ركيزة عازلة (SOI) واختبرت باستخدام جهاز اختبار صوتي كهربائي تتناول هذه الورقة الأداء الصوتي للسماعات.

أظهرت النتائج أن مكبرات الصوت أعطتنا مستوى ضغط صوت مرتفع (SPL) يزيد عن ٧٨ ديسيبل لهندسة الدائرة عند تطبيق ۲ فولت على الأقطاب الكهربائية.

تتساوى هذه النتائج مع مكبرات الصوت PZT MEMS علاوة على ذلك، يفتح AIN الباب لدمج مكبرات الصوت وASIC على نفس الشريحة.

لا يتم تجاوز حجم مكبرات الصوت ذات الأشكال الهندسية المختلفة 3 مم × 3 مم.

تقدم هذه الأشكال الهندسية طفرة في الأداء الصوتي، واستجابة للتردد، واستهلاك منخفض للطاقة.

الملخص EN

This paper reports piezoelectric aluminium nitride (ALN) based microelectromechanical systems (mems) speakers.

we introduce a novel geometry of micro speakers based on ALN to meet the requirements of modern applications such as phones, tablets, laptops, and in-ear applications.

we introduce the principle, design, and characterization results.

the speakers were fabricated on cavity silicon on insulator (SOI) substrate and characterized by using an electroacoustic tester.

this paper considers the acoustic performance of the speakers.

the results show that the speakers gave us a high sound pressure level (SPL) of more than 78 db for circle geometry when applying 2 volts on the electrodes.

these results are equal for PZT MEMS speakers moreover ALN opens the door to integrate the speakers and the asic on the same chip.

the size of the different geometries’ speakers isn’t exceeded 3mm × 3mm.

these geometries offer a breakthrough in acoustic performance, a frequency response, and low power consumption

نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)

Fawzi, Ahmad. 2022. Membraneless piezoelectric MEMS speakers based on AlN thin film. Journal of Engineering Sciences،Vol. 50, no. 1, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1393150

نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)

Fawzi, Ahmad. Membraneless piezoelectric MEMS speakers based on AlN thin film. Journal of Engineering Sciences Vol. 50, no. 1 (Jan. 2022), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1393150

نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)

Fawzi, Ahmad. Membraneless piezoelectric MEMS speakers based on AlN thin film. Journal of Engineering Sciences. 2022. Vol. 50, no. 1, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1393150

نوع البيانات

مقالات

لغة النص

الإنجليزية

الملاحظات

Includes bibliographical references: p. 6-7

رقم السجل

BIM-1393150