تلوين و إشابة أغشية a-Si : H المحضرة بطريقة CVD المحتثة بليزر CO2

مقدم أطروحة جامعية

لفتة، صادق هاني

الجامعة

الجامعة التكنولوجية

الكلية

-

القسم الأكاديمي

قسم العلوم التطبيقية

دولة الجامعة

العراق

الدرجة العلمية

ماجستير

تاريخ الدرجة العلمية

1998

الملخص العربي

تم تحقيق عملية الإصابة بنجاح باستخدام غازات الإصابة (B2H6, BCI3, SF6) خلال عمليات النمو الغشاء و بكفاءة متباينة.

و قد لوحظ تغير الخواص البصرية الكهربائية للعينات المشابه بتغيير نسب خلط غازات الإصابة مع غاز السيالين r و تغبر نوع الغاز المشيب، كما تبين ازدياد ADR بزيادة I لغازات BCI و SE6 إلا أنه تناقص بازدياد نسبة خلط الغاز B2H6.

تأثير معامل امتصاص الغشاء بالإصابة، إذ ازداد بازدياد نسب خلط r على امتداد طاقة الفوتون و لوحظت أعلى زيادة في معامل امتصاص الأغشية المشابه باستخدام غاز SF6.

كما أظهرت فجوة الطاقة البصرية تناقصا مع ازدياد نسبة خلط r و بمعدل يعتمد على نوع غاز الإصابة و على نسبة الخلط و بلغ أعظم تناقص من 1.95eV إلى 1.23 eV باستخدام غاز BCI3.

تعد زيادة توصيلية الظلام بالإشابة واحدة من أهم النتائج التي توصل إليها فقد ازدادت التوصيلية بازدياد نسبة الخلط I، و بلغت أعلى قيم لها.

باستخدام غاز BCI3 (عند الإشابة بالبورون) فقد ازدادت من 0.1 (Ω.cm) -1 إلى 10 -10(Ω.cm)-1 (من نسب خلط من 10-5 إلى 10-1).

أما قل توصيلة فقد كانت باستخدام غاز SF6.

و ازدادت التوصيلة الضوئية بادزياد نسب خلط SF6 مع غاز السيالين، إذ بلغت أعلى قيمة لها 0.06 (Ω.cm) -1 عند نسبة الخلط r = 0.1، لكنها تناقصت من قيمنها العظمى عند نسبة الخلط 10-4 باستخدام الغازات B2H6, BCI3.

وتناقصت تحريكية هول بازدياد نسبة خلط غازات الأشابة المقاسة ضمن المدى (r = 10 -4-10 -1) من 0.11 و 0.095 و 0.88 cm2 V.sec إلى 0.06 cm2 / V.sec, 0.076, 0.085 باستخدام الغازات BCI3, B2H6, SE6 على التوالي.

أثبتت تحليلات الامتصاص الذري EDS, A.A تزايد نسبة الكبيرت و البورون و الكلور في الغشاء بازدياد نسبة الخلط.

كما أظهرت أطياف الأشعة تحت الحمراء تزايد نسبة الكلور و الفلور بازدياد نسبة الخلط، كما أظهرت أيضا تناقص المحتوى الهيدروجيني بازدياد نسبة خلط الغازات BCI3, SF6 مع غاز السيالين إلا أنها لم تتأثر باستخدام غاز B2H6 في الإشابة.

و أبدت قياسات حيود الأشعة السينية امتلاك الأغشية المشابهة تركيبا عشوائيا و عدم تغير هذا المركب على الرغم من اختلاف نسبة الإشابة.

التخصصات الرئيسية

الفيزياء

الموضوعات

• الحرارة
• الخواص الفيزيائية
• الغشاء القاعدي
• الأغشية الحيوية

• APA
• MLA
• AMA

لغة النص

العربية

نوع البيانات

رسائل جامعية

رقم السجل

BIM-306388