تلوين و إشابة أغشية a-Si : H المحضرة بطريقة CVD المحتثة بليزر CO2
Dissertant
University
University of Technology
Faculty
-
Department
Applied Sciences Department
University Country
Iraq
Degree
Master
Degree Date
1998
Arabic Abstract
تم تحقيق عملية الإصابة بنجاح باستخدام غازات الإصابة (B2H6, BCI3, SF6) خلال عمليات النمو الغشاء و بكفاءة متباينة.
و قد لوحظ تغير الخواص البصرية الكهربائية للعينات المشابه بتغيير نسب خلط غازات الإصابة مع غاز السيالين r و تغبر نوع الغاز المشيب، كما تبين ازدياد ADR بزيادة I لغازات BCI و SE6 إلا أنه تناقص بازدياد نسبة خلط الغاز B2H6.
تأثير معامل امتصاص الغشاء بالإصابة، إذ ازداد بازدياد نسب خلط r على امتداد طاقة الفوتون و لوحظت أعلى زيادة في معامل امتصاص الأغشية المشابه باستخدام غاز SF6.
كما أظهرت فجوة الطاقة البصرية تناقصا مع ازدياد نسبة خلط r و بمعدل يعتمد على نوع غاز الإصابة و على نسبة الخلط و بلغ أعظم تناقص من 1.95eV إلى 1.23 eV باستخدام غاز BCI3.
تعد زيادة توصيلية الظلام بالإشابة واحدة من أهم النتائج التي توصل إليها فقد ازدادت التوصيلية بازدياد نسبة الخلط I، و بلغت أعلى قيم لها.
باستخدام غاز BCI3 (عند الإشابة بالبورون) فقد ازدادت من 0.1 (Ω.cm) -1 إلى 10 -10(Ω.cm)-1 (من نسب خلط من 10-5 إلى 10-1).
أما قل توصيلة فقد كانت باستخدام غاز SF6.
و ازدادت التوصيلة الضوئية بادزياد نسب خلط SF6 مع غاز السيالين، إذ بلغت أعلى قيمة لها 0.06 (Ω.cm) -1 عند نسبة الخلط r = 0.1، لكنها تناقصت من قيمنها العظمى عند نسبة الخلط 10-4 باستخدام الغازات B2H6, BCI3.
وتناقصت تحريكية هول بازدياد نسبة خلط غازات الأشابة المقاسة ضمن المدى (r = 10 -4-10 -1) من 0.11 و 0.095 و 0.88 cm2 V.sec إلى 0.06 cm2 / V.sec, 0.076, 0.085 باستخدام الغازات BCI3, B2H6, SE6 على التوالي.
أثبتت تحليلات الامتصاص الذري EDS, A.A تزايد نسبة الكبيرت و البورون و الكلور في الغشاء بازدياد نسبة الخلط.
كما أظهرت أطياف الأشعة تحت الحمراء تزايد نسبة الكلور و الفلور بازدياد نسبة الخلط، كما أظهرت أيضا تناقص المحتوى الهيدروجيني بازدياد نسبة خلط الغازات BCI3, SF6 مع غاز السيالين إلا أنها لم تتأثر باستخدام غاز B2H6 في الإشابة.
و أبدت قياسات حيود الأشعة السينية امتلاك الأغشية المشابهة تركيبا عشوائيا و عدم تغير هذا المركب على الرغم من اختلاف نسبة الإشابة.
Main Subjects
Topics
American Psychological Association (APA)
لفتة، صادق هاني. (1998). تلوين و إشابة أغشية a-Si : H المحضرة بطريقة CVD المحتثة بليزر CO2. (أطروحة ماجستير). الجامعة التكنولوجية, العراق
https://search.emarefa.net/detail/BIM-306388
Modern Language Association (MLA)
لفتة، صادق هاني. تلوين و إشابة أغشية a-Si : H المحضرة بطريقة CVD المحتثة بليزر CO2. (أطروحة ماجستير). الجامعة التكنولوجية. (1998).
https://search.emarefa.net/detail/BIM-306388
American Medical Association (AMA)
لفتة، صادق هاني. (1998). تلوين و إشابة أغشية a-Si : H المحضرة بطريقة CVD المحتثة بليزر CO2. (أطروحة ماجستير). الجامعة التكنولوجية, العراق
https://search.emarefa.net/detail/BIM-306388
Language
Arabic
Data Type
Arab Theses
Record ID
BIM-306388
