Calcul des concentrations de molécules et de radicaux lors de déposition de couches minces a-Si : H par procédés PECVD
المؤلفون المشاركون
المصدر
Annales des Sciences et Technologie
العدد
المجلد 4، العدد 2 (30 نوفمبر/تشرين الثاني 2012)، ص ص. 115-120، 6ص.
الناشر
تاريخ النشر
2012-11-30
دولة النشر
الجزائر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص FRE
La modélisation fluide de la déposition d'une couche mince a-Si:H procédé PECVD est une des methods les plus utilisées pour étudier la croissance des couches minces.
Dans la technique PECVD les électrons sont responsables de la dissociation et de la décomposition du gaz introduit dans le réacteur.
Les radicaux resultants interviennent pour former le film voulu.
Dans ce travail, on s’intéresse au calcul des concentrations de différentes molécules et radicaux neutres SixHy, lors de l'introduction d'un mélange gazeux SiH4 / H2 dans un réacteur PECVD.
On se limite à la résolution de l’équation de diffusion indépendante du temps, entre les deux électrodes, par la méthode des différences finies.
Les résultats sont comparés aux résultats d’autres auteurs.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Babahani, O.& Khalafawi, F.. 2012. Calcul des concentrations de molécules et de radicaux lors de déposition de couches minces a-Si : H par procédés PECVD. Annales des Sciences et Technologie،Vol. 4, no. 2, pp.115-120.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-323749
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Babahani, O.& Khalafawi, F.. Calcul des concentrations de molécules et de radicaux lors de déposition de couches minces a-Si : H par procédés PECVD. Annales des Sciences et Technologie Vol. 4, no. 2 (Nov. 2012), pp.115-120.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-323749
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Babahani, O.& Khalafawi, F.. Calcul des concentrations de molécules et de radicaux lors de déposition de couches minces a-Si : H par procédés PECVD. Annales des Sciences et Technologie. 2012. Vol. 4, no. 2, pp.115-120.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-323749
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الفرنسية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 120
رقم السجل
BIM-323749
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