![](/images/graphics-bg.png)
Influence of electrodes area ratios and the discharge volume in rf capacitively coupled plasma
العناوين الأخرى
تأثير نسب مساحة الأقطاب و حجم التفريغ في البلازما الراديوية السعوية
المؤلف
المصدر
العدد
المجلد 11، العدد 20 (31 مارس/آذار 2013)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
تاريخ النشر
2013-03-31
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص AR
تم تعيين النتائج التجريبة للتشوهات التوافقية في التفريغ الراديوي عند التردد 13.56MHz باستعمال مساحات مختلفة من الأقطاب المؤرضة عند مسافات مختلفة بين أقطاب التفريغ.
نفذت التجربة عند أربعة قيم للضغوط.
قيم القدرة الراديوية المستعملة بين (20-90) واط.
تشير النتائج إلى زيادة واضحة في التشوهات عند قيمتين معينتين لزاوية رأس المخروط الذي يحتوي حجمه القطبين.
حساب زاوية رأس المخروط أعطت التفريغ المتناظر أو التفريغ غير المتناظر فضلا عن ذلك عندما تكون الزاوية صغيرة الحالة تقترب من حالة التفريغ المتناظر مع انخفاض الحالة غير الخطية المرافقة.
الملخص EN
Experimental results on harmonic distortions in 13.56 MHz RF Argon glow discharge using different grounded electrodes areas and electrodes spacing are presented.
The experiment is carried out at four pressure values.
RF power values used are between 20 and 90 watts.
The results indicate significant increase in distortions at two specific values of the cone angle enclosing the two electrodes within its geometrical volume.
The computation of the cone head angle gave the symmetry discharge or asymmetry as well as when the angle is small the condition is near symmetry discharge associated with decrease in the nonlinearity.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Ahmad, Muayyad Abd Allah. 2013. Influence of electrodes area ratios and the discharge volume in rf capacitively coupled plasma. Iraqi Journal of Physics،Vol. 11, no. 20, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-342103
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Ahmad, Muayyad Abd Allah. Influence of electrodes area ratios and the discharge volume in rf capacitively coupled plasma. Iraqi Journal of Physics Vol. 11, no. 20 (2013), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-342103
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Ahmad, Muayyad Abd Allah. Influence of electrodes area ratios and the discharge volume in rf capacitively coupled plasma. Iraqi Journal of Physics. 2013. Vol. 11, no. 20, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-342103
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 7-8
رقم السجل
BIM-342103
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)