New design of objective lens geometry for low voltage SEM
المؤلفون المشاركون
al-Khashab, M. A.
al-Salih, R. Y.
المصدر
العدد
المجلد 6، العدد 2 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 87-94، 8ص.
الناشر
جامعة اليرموك عمادة البحث العلمي و الدراسات العليا
تاريخ النشر
2013-12-31
دولة النشر
الأردن
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص EN
Five new models of magnetic objective lens geometry have been designed and studied in this work.
Different excitation coil shapes and their positions inside the lenses at a constant excitation (NI = 10 kA.t) were included.
Spacious comparison between these models was realized using the finite element method (FEM) to analyze the magnetic field distribution, magnetic flux density and optical properties for each model at low relativistic corrected accelerating voltage (Vr = 10 kV).
The effect of the lens geometrical shape on the electron beam voltage passing throughout the optical axis of the lenses at zero image plane (Zi = 0 mm) has been inspected as well.
The optimized one of the deliberated lenses has been selected as an objective lens for low voltage scanning electron microscope (SEM) preparatory for next research.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
al-Khashab, M. A.& al-Salih, R. Y.. 2013. New design of objective lens geometry for low voltage SEM. Jordan Journal of Physics،Vol. 6, no. 2, pp.87-94.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-349687
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
al-Khashab, M. A.& al-Salih, R. Y.. New design of objective lens geometry for low voltage SEM. Jordan Journal of Physics Vol. 6, no. 2 (2013), pp.87-94.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-349687
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
al-Khashab, M. A.& al-Salih, R. Y.. New design of objective lens geometry for low voltage SEM. Jordan Journal of Physics. 2013. Vol. 6, no. 2, pp.87-94.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-349687
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 94
رقم السجل
BIM-349687
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر