Etude des spectres d’émission d’ions d’argon lors de déposition sur couches minces dans un pulvérisateur cathodique magnétron
المؤلفون المشاركون
Khelfaoui, Fathi
Azzawi, Muhammad
المصدر
Annales des Sciences et Technologie
العدد
المجلد 5، العدد 2 (31 أكتوبر/تشرين الأول 2013)، ص ص. 204-208، 5ص.
الناشر
تاريخ النشر
2013-10-31
دولة النشر
الجزائر
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص FRE
Cette étude est consacrée à l'étude de la spectroscopie de plasmas de décharge lors de déposition sur couches minces par une pulvérisation cathodique magnétron RF.
La chambre de pulvérisation contient une cible en Nylon 6, 6 (Good fellow).
L’étude concerne les transitions électroniques d’atomes et d'ions d’argon, des molécules d’azote et d'ions d’azote dans des plasmas et la détermination de la température électronique et de la densité électronique de ce plasma.
Les caractérisations de plasma montrent que le plasma de décharge est hors équilibre thermodynamique local.
Les résultats de notre calcul sont en adéquation avec les résultats expérimentaux de J.
Kousal et al.
(2009) [1].
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Azzawi, Muhammad& Khelfaoui, Fathi. 2013. Etude des spectres d’émission d’ions d’argon lors de déposition sur couches minces dans un pulvérisateur cathodique magnétron. Annales des Sciences et Technologie،Vol. 5, no. 2, pp.204-208.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-350133
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Azzawi, Muhammad& Khelfaoui, Fathi. Etude des spectres d’émission d’ions d’argon lors de déposition sur couches minces dans un pulvérisateur cathodique magnétron. Annales des Sciences et Technologie Vol. 5, no. 2 (Oct. 2013), pp.204-208.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-350133
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Azzawi, Muhammad& Khelfaoui, Fathi. Etude des spectres d’émission d’ions d’argon lors de déposition sur couches minces dans un pulvérisateur cathodique magnétron. Annales des Sciences et Technologie. 2013. Vol. 5, no. 2, pp.204-208.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-350133
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الفرنسية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 203
رقم السجل
BIM-350133
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