Etude des spectres d’émission d’ions d’argon lors de déposition sur couches minces dans un pulvérisateur cathodique magnétron
Joint Authors
Khelfaoui, Fathi
Azzawi, Muhammad
Source
Annales des Sciences et Technologie
Issue
Vol. 5, Issue 2 (31 Oct. 2013), pp.204-208, 5 p.
Publisher
University Kasdi Merbah Ouargla
Publication Date
2013-10-31
Country of Publication
Algeria
No. of Pages
5
Main Subjects
Topics
Abstract FRE
Cette étude est consacrée à l'étude de la spectroscopie de plasmas de décharge lors de déposition sur couches minces par une pulvérisation cathodique magnétron RF.
La chambre de pulvérisation contient une cible en Nylon 6, 6 (Good fellow).
L’étude concerne les transitions électroniques d’atomes et d'ions d’argon, des molécules d’azote et d'ions d’azote dans des plasmas et la détermination de la température électronique et de la densité électronique de ce plasma.
Les caractérisations de plasma montrent que le plasma de décharge est hors équilibre thermodynamique local.
Les résultats de notre calcul sont en adéquation avec les résultats expérimentaux de J.
Kousal et al.
(2009) [1].
American Psychological Association (APA)
Azzawi, Muhammad& Khelfaoui, Fathi. 2013. Etude des spectres d’émission d’ions d’argon lors de déposition sur couches minces dans un pulvérisateur cathodique magnétron. Annales des Sciences et Technologie،Vol. 5, no. 2, pp.204-208.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-350133
Modern Language Association (MLA)
Azzawi, Muhammad& Khelfaoui, Fathi. Etude des spectres d’émission d’ions d’argon lors de déposition sur couches minces dans un pulvérisateur cathodique magnétron. Annales des Sciences et Technologie Vol. 5, no. 2 (Oct. 2013), pp.204-208.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-350133
American Medical Association (AMA)
Azzawi, Muhammad& Khelfaoui, Fathi. Etude des spectres d’émission d’ions d’argon lors de déposition sur couches minces dans un pulvérisateur cathodique magnétron. Annales des Sciences et Technologie. 2013. Vol. 5, no. 2, pp.204-208.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-350133
Data Type
Journal Articles
Language
French
Notes
Includes bibliographical references : p. 203
Record ID
BIM-350133