استقصاء تأثير الهدرجة على خواص المنظومة a-Si1-xGex

الملخص AR

تم في هذا البحث استقصاء تأثير الهدرجة على الخواص الكهربائية للأغشية الرقيقة للمنظومةa-Si1-x Gex و المحضرة بطريقة التبخير الحراري المزدوج على أرضيات زجاجيه بدرجة حرارة 200C0 و لسمك بحدود 10A و لقيم x حيث إن 0.2 ≥ x ≥ 0.

استخدمت فحوصات أشعة اكس للتأكد من عشوائية الأغشية.

كما أثبتت فحوصات الأغشية الرقيقة بالأشعة تحت الحمراء وجود ذرات الهيدروجين بين الأغشية المهدرجة التي ظهرت على أنماط تذبذبية أحادية و ثنائية و ثلاثية الهيدروجين مع كل من Ge و Si.

أظهرت قياسات الخواص الكهربائية زيادة في التوصيلية الكهربائية عند درجة حرارة الغرفة مع زيادة تركيز Ge.

و كانت أعظم قيمه للتوصيلية هي.cm-1 Ω1-5-4.135 x 10 عندما كانت 0.2 = X.

و لكن إضافة الهيدروجين أدى إلى نقصانها.

و كل نماذجنا أظهرت إن هناك أكثر من طاقة تنشيط واحده لمدى درجات الحرارة بين 300K و 553K، و كانت أعظم طاقة تنشيط هي 0.81 eV عندما 0 = X للنماذج المهدرجة.