Humidity sensing and electrical properties of HMDSO plasma thin film
المؤلفون المشاركون
Guermat, N.
Bellelb, A.
Sahlic, S.
Seguid, Y.
Raynaudd, P.
المصدر
Journal of New Technology and Materials
العدد
المجلد 2، العدد 2 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 25-28، 4ص.
الناشر
جامعة العربي بن مهيدي بأم البواقي
تاريخ النشر
2012-12-31
دولة النشر
الجزائر
عدد الصفحات
4
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص EN
This paper reports the study of humidity-sensitive and electrical properties plasma polymerization of hexamethyldisiloxane (pp-HMDSO) thin film based sensors.
The humidity sensitive film was deposited by glow discharge at low frequency power (19 KHz) in a capacitively coupled parallel plate plasma reactor.
The sensor design comprises the intredigited electrodes and the absorbing layer.
The sensor was calibrated in terms of impedance as a function of relative humidity, using a Frequency Response Analyzer.
The signal frequency range was between 102 to 107 Hz with amplitude of 3V.
Structural analysis of the sensitive layer was carried out by Fourier Transform Infrared spectroscopy (FTIR).
Electrical properties, including capacity-humidity, hysteresis of the elaborated sensor were investigated.
Interdigital electrodes and sensing layer were modeled using equivalent circuits to resolve the effects of adsorption and ion migration.
The HMDSO films showed promising characteristics for humidity sensor development.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Guermat, N.& Bellelb, A.& Sahlic, S.& Seguid, Y.& Raynaudd, P.. 2012. Humidity sensing and electrical properties of HMDSO plasma thin film. Journal of New Technology and Materials،Vol. 2, no. 2, pp.25-28.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-367565
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Guermat, N.…[et al.]. Humidity sensing and electrical properties of HMDSO plasma thin film. Journal of New Technology and Materials Vol. 2, no. 2 (Dec. 2012), pp.25-28.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-367565
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Guermat, N.& Bellelb, A.& Sahlic, S.& Seguid, Y.& Raynaudd, P.. Humidity sensing and electrical properties of HMDSO plasma thin film. Journal of New Technology and Materials. 2012. Vol. 2, no. 2, pp.25-28.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-367565
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 28
رقم السجل
BIM-367565
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر