High Spatial Resolution Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry for the Masses : A Novel Orthogonal ToF FIB-SIMS Instrument with In Situ AFM
المؤلفون المشاركون
Whitby, James A.
Bechelany, Mikhael
Friedli, Vinzenz
Utke, Ivo
Hohl, Markus
Horvath, Peter
Östlund, Fredrik
Riesterer, Jessica L.
Jiruše, Jaroslav
Michler, Johann
Gabureac, Mihai
Sedláček, Libor
المصدر
Advances in Materials Science and Engineering
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-13، 13ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2011-10-18
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
13
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الملخص EN
We describe the design and performance of an orthogonal time-of-flight (TOF) secondary ion mass spectrometer that can be retrofitted to existing focused ion beam (FIB) instruments.
In particular, a simple interface has been developed for FIB/SEM instruments from the manufacturer Tescan.
Orthogonal extraction to the mass analyser obviates the need to pulse the primary ion beam and does not require the use of monoisotopic gallium to preserve mass resolution.
The high-duty cycle and reasonable collection efficiency of the new instrument combined with the high spatial resolution of a gallium liquid metal ion source allow chemical observation of features smaller than 50 nm.
We have also demonstrated the integration of a scanning probe microscope (SPM) operated as an atomic force microscope (AFM) within the FIB/SEM-SIMS chamber.
This provides roughness information, and will also allow true three dimensional chemical images to be reconstructed from SIMS measurements.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Whitby, James A.& Östlund, Fredrik& Horvath, Peter& Gabureac, Mihai& Riesterer, Jessica L.& Utke, Ivo…[et al.]. 2011. High Spatial Resolution Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry for the Masses : A Novel Orthogonal ToF FIB-SIMS Instrument with In Situ AFM. Advances in Materials Science and Engineering،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-13.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-452320
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Whitby, James A.…[et al.]. High Spatial Resolution Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry for the Masses : A Novel Orthogonal ToF FIB-SIMS Instrument with In Situ AFM. Advances in Materials Science and Engineering No. 2012 (2012), pp.1-13.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-452320
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Whitby, James A.& Östlund, Fredrik& Horvath, Peter& Gabureac, Mihai& Riesterer, Jessica L.& Utke, Ivo…[et al.]. High Spatial Resolution Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry for the Masses : A Novel Orthogonal ToF FIB-SIMS Instrument with In Situ AFM. Advances in Materials Science and Engineering. 2011. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-13.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-452320
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-452320
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر