Strength and Fracture Resistance of Amorphous Diamond-Like Carbon Films for MEMS
المؤلفون المشاركون
Chasiotis, I.
Jonnalagadda, K. N.
المصدر
العدد
المجلد 2009، العدد 2009 (31 ديسمبر/كانون الأول 2009)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2009-07-28
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الكيمياء
هندسة مدنية
الملخص EN
The mechanical strength and mixed mode I/II fracture toughness of hydrogen-free tetrahedral amorphous diamond-like carbon (ta-C) films, grown by pulsed laser deposition, are discussed in connection to material flaws and its microstructure.
The failure properties of ta-C were obtained from films with thicknesses 0.5–3 μm and specimen widths 10–20 μm.
The smallest test samples with 10 μm gage section averaged a strength of 7.3 ± 1.2 GPa, while the strength of 20-μm specimens with thicknesses 0.5–3 μm varied between 2.2–5.7 GPa.
The scaling of the mechanical strength with specimen thickness and dimensions was owed to deposition-induced surface flaws, and, only in the smallest specimens, RIE patterning generated specimen sidewall flaws.
The mode I fracture toughness of ta-C films is KIc=4.4±0.4 MPam, while the results from mixed mode I/II fracture experiments with cracks arbitrarily oriented in the plane of the film compared very well with theoretical predictions.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Jonnalagadda, K. N.& Chasiotis, I.. 2009. Strength and Fracture Resistance of Amorphous Diamond-Like Carbon Films for MEMS. Journal of Nanomaterials،Vol. 2009, no. 2009, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-454237
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Jonnalagadda, K. N.& Chasiotis, I.. Strength and Fracture Resistance of Amorphous Diamond-Like Carbon Films for MEMS. Journal of Nanomaterials No. 2009 (2009), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-454237
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Jonnalagadda, K. N.& Chasiotis, I.. Strength and Fracture Resistance of Amorphous Diamond-Like Carbon Films for MEMS. Journal of Nanomaterials. 2009. Vol. 2009, no. 2009, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-454237
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-454237
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر