Gas-Solid Reaction Properties of Fluorine Compounds and Solid Adsorbents for Off-Gas Treatment from Semiconductor Facility
المؤلفون المشاركون
Takeuchi, Akihiro
Inoue, Goichi
Shojo, Tadashi
Koike, Kunihiko
Yasui, Shinji
Iwasa, Yoshio
المصدر
International Journal of Chemical Engineering
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-9، 9ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-08-08
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الملخص EN
We have been developing a new dry-type off-gas treatment system for recycling fluorine from perfluoro compounds present in off-gases from the semiconductor industry.
The feature of this system is to adsorb the fluorine compounds in the exhaust gases from the decomposition furnace by using two types of solid adsorbents: the calcium carbonate in the upper layer adsorbs HF and converts it to CaF2, and the sodium bicarbonate in the lower layer adsorbs HF and SiF4 and converts them to Na2SiF6.
This paper describes the fluorine compound adsorption properties of both the solid adsorbents—calcium carbonate and the sodium compound—for the optimal design of the fixation furnace.
An analysis of the gas-solid reaction rate was performed from the experimental results of the breakthrough curve by using a fixed-bed reaction model, and the reaction rate constants and adsorption capacity were obtained for achieving an optimal process design.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Yasui, Shinji& Shojo, Tadashi& Inoue, Goichi& Koike, Kunihiko& Takeuchi, Akihiro& Iwasa, Yoshio. 2012. Gas-Solid Reaction Properties of Fluorine Compounds and Solid Adsorbents for Off-Gas Treatment from Semiconductor Facility. International Journal of Chemical Engineering،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-464020
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Yasui, Shinji…[et al.]. Gas-Solid Reaction Properties of Fluorine Compounds and Solid Adsorbents for Off-Gas Treatment from Semiconductor Facility. International Journal of Chemical Engineering No. 2012 (2012), pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-464020
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Yasui, Shinji& Shojo, Tadashi& Inoue, Goichi& Koike, Kunihiko& Takeuchi, Akihiro& Iwasa, Yoshio. Gas-Solid Reaction Properties of Fluorine Compounds and Solid Adsorbents for Off-Gas Treatment from Semiconductor Facility. International Journal of Chemical Engineering. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-464020
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-464020
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر