Properties and Analysis of Transparency Conducting AZO Films by Using DC Power and RF Power Simultaneous Magnetron Sputtering
المؤلفون المشاركون
Shih, Neng-Fu
Chen, Jin-Zhou
Jiang, Yeu-Long
المصدر
Advances in Materials Science and Engineering
العدد
المجلد 2013، العدد 2013 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2013-11-25
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الملخص EN
DC power and RF power were introduced into the magnetic controlled sputtering system simultaneously to deposit AZO films in order to get an acceptable deposition rate with high quality transparency conducting thin film.
The resistivity decreases with the RF power for the as-deposited samples.
The resistivity of 6 × 10−4 Ω-cm and 3.5–4.5 × 10−4 Ω-cm is obtained for the as-deposited sample, and for all annealed samples, respectively.
The transmittance of the AZO films with higher substrate temperature is generally above 80% for the incident light wavelength within 400–800 nm.
The transmittance of the as-deposited samples reveals a clear blue shift phenomenon.
The AZO films present (002) oriented preference as can be seen from the X-ray diffraction curves.
All AZO films reveal compressive stress.
The annealing process improves the electrical property of AZO films.
A significant blue shift phenomenon has been found, which may have a great application for electrode in solar cell.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Shih, Neng-Fu& Chen, Jin-Zhou& Jiang, Yeu-Long. 2013. Properties and Analysis of Transparency Conducting AZO Films by Using DC Power and RF Power Simultaneous Magnetron Sputtering. Advances in Materials Science and Engineering،Vol. 2013, no. 2013, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-469093
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Shih, Neng-Fu…[et al.]. Properties and Analysis of Transparency Conducting AZO Films by Using DC Power and RF Power Simultaneous Magnetron Sputtering. Advances in Materials Science and Engineering No. 2013 (2013), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-469093
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Shih, Neng-Fu& Chen, Jin-Zhou& Jiang, Yeu-Long. Properties and Analysis of Transparency Conducting AZO Films by Using DC Power and RF Power Simultaneous Magnetron Sputtering. Advances in Materials Science and Engineering. 2013. Vol. 2013, no. 2013, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-469093
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-469093
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر