Coupling and Shielding Properties of the Baffle in ICP System
المؤلفون المشاركون
المصدر
Modelling and Simulation in Engineering
العدد
المجلد 2011، العدد 2011 (31 ديسمبر/كانون الأول 2011)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2011-07-28
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This contribution is dealing with experimental and computational evaluation of the deposition baffle that is transparent to radio frequency (RF) magnetic fields generated by an external antenna in an inductively coupled plasma (ICP) source but opaque to the deposition of the metal onto a dielectric wall in ionized physical vapor deposition (IPVD) system.
Various engineering aspects related to the deposition baffle are discussed.
Among the many requirements focus is on specific structure of the slots and analysis to minimize deposition on the baffle (we used a string model for simulating the profile evolution) and deposition through the DB on dielectric components of the ICP source.
Transparency of the baffle to RF magnetic fields is computed using a three-dimensional (3D) electromagnetic field solver.
A simple two-dimensional sheath model is used to understand plasma interactions with the DB slot structure.
Performance and possible failure of device are briefly discussed.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Brcka, Jozef& Robison, R. Lee. 2011. Coupling and Shielding Properties of the Baffle in ICP System. Modelling and Simulation in Engineering،Vol. 2011, no. 2011, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-480029
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Brcka, Jozef& Robison, R. Lee. Coupling and Shielding Properties of the Baffle in ICP System. Modelling and Simulation in Engineering No. 2011 (2011), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-480029
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Brcka, Jozef& Robison, R. Lee. Coupling and Shielding Properties of the Baffle in ICP System. Modelling and Simulation in Engineering. 2011. Vol. 2011, no. 2011, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-480029
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-480029
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر