Nano- and Macrotribological Properties of Nanoperiod Multilayer Films Deposited by Bias Sputtering
المؤلفون المشاركون
المصدر
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-16، 16ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-05-09
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
16
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الكيمياء
الملخص EN
Carbon and boron nitride nanoperiod (C/BN)n, boron nitride and carbon (BN/C)n, carbon nitride and boron nitride nanoperiod (CN/BN)n, and boron nitride and carbon nitride (BN/CN)n ]multilayer films with a 4-nm-period multilayer structure were deposited by bias radio frequency (RF) sputtering.
The substrate used for deposition was repeatedly positioned opposite graphite and boron nitride targets.
Both the nanoindentation hardness and microwear resistance of the multilayer (CN/BN)n and (BN/CN)n films changed with the layer period.
The multilayer films with a 4 nm period had the highest hardness and microwear resistance.
The processing characteristics of the (C/BN)n and (BN/C)n films with a 4-nm-period multilayer structure were investigated using a conductive atomic force microscope (AFM) with force modulation, which permits the quantitative recording of current and frictional force as functions of applied force.
The results of processing indicated that friction and surface-current measurements are effective methods of investigating multilayer nanostructural surfaces and that the method proposed in this study for micro-electro-mechanical processing systems has high precision.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Miyake, Shojiro& Wang, Mei. 2012. Nano- and Macrotribological Properties of Nanoperiod Multilayer Films Deposited by Bias Sputtering. Journal of Nanotechnology،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-16.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-480849
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Miyake, Shojiro& Wang, Mei. Nano- and Macrotribological Properties of Nanoperiod Multilayer Films Deposited by Bias Sputtering. Journal of Nanotechnology No. 2012 (2012), pp.1-16.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-480849
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Miyake, Shojiro& Wang, Mei. Nano- and Macrotribological Properties of Nanoperiod Multilayer Films Deposited by Bias Sputtering. Journal of Nanotechnology. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-16.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-480849
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-480849
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر