Square Diaphragm CMUT Capacitance Calculation Using a New Deflection Shape Function
المؤلفون المشاركون
Chowdhury, Sazzadur
Rahman, Md Mosaddequr
المصدر
العدد
المجلد 2011، العدد 2011 (31 ديسمبر/كانون الأول 2011)، ص ص. 1-12، 12ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2011-09-29
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
12
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
A new highly accurate closed-form capacitance calculation model has been developed to calculate the capacitance of capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUTs) built with square diaphragms.
The model has been developed by using a two-dimensional polynomial function that more accurately predicts the deflection curve of a square diaphragm deformed under the influence of a uniform external pressure and also takes account of the fringing field capacitances.
The model has been verified by comparing the model-predicted deflection profiles and capacitance values with experimental results published elsewhere and finite element analysis (FEA) carried out by the authors for different material properties, geometric specifications, and loading conditions.
New model-calculated capacitance values are found to be in excellent agreement with published experimental results with a maximum deviation of 1.7%, and a maximum deviation of 1.5% has been observed when compared with FEA results.
The model can help in improving the accuracy of the design methodology of CMUT devices and other MEMS-based capacitive type sensors built with square diaphragms.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Rahman, Md Mosaddequr& Chowdhury, Sazzadur. 2011. Square Diaphragm CMUT Capacitance Calculation Using a New Deflection Shape Function. Journal of Sensors،Vol. 2011, no. 2011, pp.1-12.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-482543
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Rahman, Md Mosaddequr& Chowdhury, Sazzadur. Square Diaphragm CMUT Capacitance Calculation Using a New Deflection Shape Function. Journal of Sensors No. 2011 (2011), pp.1-12.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-482543
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Rahman, Md Mosaddequr& Chowdhury, Sazzadur. Square Diaphragm CMUT Capacitance Calculation Using a New Deflection Shape Function. Journal of Sensors. 2011. Vol. 2011, no. 2011, pp.1-12.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-482543
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-482543
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر